في معدات أشباه الموصلات (MOCVD، LPCVD، أفران الفوقية، والحفر الجاف/الغرف النظيفة، وما إلى ذلك)، تعمل المكونات الرئيسية مثل قوارب الويفر، والصواني، ومستقبلات التسخين، وبطانات الحجرة لفترات طويلة في أجواء ذات درجة حرارة عالية وشديدة التآكل (على سبيل المثال، HCl، Cl₂، البلازما المستندة إلى F). يحدد اختيار المواد بشكل مباشر إنتاجية المعدات وتكلفة الصيانة وعمر الخدمة. هناك طريقان تكنولوجيان رئيسيان يهيمنان حاليًا على الصناعة: 

● المواد المطلية بـ SiC القائمة على الجرافيت (الجرافيت المطلي بـ SiC CVD) 

● مادة SiC الصلبة/السائبة (SiC الصلبة/السائبة، يتم إنتاجها عادةً أيضًا بطريقة CVD)