Graphite is an excellent high-temperature material, but it oxidizes easily at high temperatures. Even in vacuum furnaces with inert gas, it can still undergo slow oxidation. Using a CVD tantalum carbide (TaC) coating can effectively protect the graphite substrate, providing the same high-temperature resistance as graphite. TaC is also an inert material, meaning it will not react with gases such as argon or hydrogen at high temperatures.InquiryTaC three-section ringnow!
يوفر Semicera الطلاءات المتخصصة في Tantalum Carbide (TAC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera الطلاء Tantalum Carbide (TAC) لتحقيق نقاء مرتفع ، واستقرار ارتفاع درجات الحرارة والتسامح الكيميائي العالي ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI ( غلاك تاك المغلفة بالجرافيت) ، وتوسيع عمر مكونات المفاعل الرئيسية. يتمثل استخدام طلاء Tantalum Carbide TAC في حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورة ، وقد حلت Semicera اختراق تقنية طلاء كربيد Tantalum (CVD) ، حيث وصلت إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التنمية ، غزت Semicera تكنولوجيا CVD تاك مع الجهود المشتركة من قسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SIC ، ولكن بعد الاستخدام تاك, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
علاوة على ذلك ، Semicera's المنتجات المغلفة TAC إظهار عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر درجات الحرارة مقارنة بـ الطلاء كذا. لقد أظهرت قياسات المختبر أن الطلاء TAC يمكن أن تؤدي باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. فيما يلي بعض الأمثلة على عيناتنا:
