The coating has high purity, high temperature resistance, and chemical resistance to effectively protect graphite surfaces from wear, corrosion, and oxidation. Tantalum carbide coating is a high-performance surface coating technology that provides superior performance enhancement by forming a wear-resistant, corrosion-resistant protective layer on the surface of the material.
Semicera Semicera provides specialized tantalum carbide (TaC) coatings for various components and carriers. Semicera Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (غلاك تاك المغلفة بالجرافيت), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.
بعد سنوات من التنمية ، غزت Semicera تكنولوجيا CVD تاك مع الجهود المشتركة من قسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SIC ، ولكن بعد الاستخدام تاك, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
علاوة على ذلك ، Semicera's المنتجات المغلفة TAC إظهار عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر درجات الحرارة مقارنة بـ الطلاء كذا. لقد أظهرت قياسات المختبر أن الطلاء TAC يمكن أن تؤدي باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. فيما يلي بعض الأمثلة على عيناتنا:
