6 Inch N-type SiC Substrate

Semicera offers a wide range of 4H-8H SiC wafers. For many years, we have been a manufacturer and supplier of products to the semiconductor and photovoltaic industries. Our main products include: Silicon carbide etch plates, silicon carbide boat trailers, silicon carbide wafer boats (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chucks, silicon carbide beams, as well as CVD SiC coatings and TaC coatings. Covering most European and American markets. We look forward to being your long-term partner in China.

Silicon carbide (SiC) single crystal material has a large band gap width (~Si 3 times), high thermal conductivity (~Si 3.3 times or GaAs 10 times), high electron saturation migration rate (~Si 2.5 times), high breakdown electric field (~Si 10 times or GaAs 5 times) and other outstanding characteristics.

The third generation semiconductor materials mainly include SiC, GaN, diamond, etc., because its band gap width (Eg) is greater than or equal to 2.3 electron volts (eV), also known as wide band gap semiconductor materials. Compared with the first and second generation semiconductor materials, the third generation semiconductor materials have the advantages of high thermal conductivity, high breakdown electric field, high saturated electron migration rate and high bonding energy, which can meet the new requirements of modern electronic technology for high temperature, high power, high pressure, high frequency and radiation resistance and other harsh conditions. It has important application prospects in the fields of national defense, aviation, aerospace, oil exploration, optical storage, etc., and can reduce energy loss by more than 50% in many strategic industries such as broadband communications, solar energy, automobile manufacturing, semiconductor lighting, and smart grid, and can reduce equipment volume by more than 75%, which is of milestone significance for the development of human science and technology.

Semicera energy can provide customers with high-quality Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) silicon carbide substrate; In addition, we can provide customers with homogeneous and heterogeneous silicon carbide epitaxial sheets; We can also customize the epitaxial sheet according to the specific needs of customers, and there is no minimum order quantity.

أغراض

إنتاج

بحث

دمية

المعلمات البلورية

polytype

4H

خطأ في اتجاه السطح

4±0.15°

المعلمات الكهربائية

Dopant

نيتروجين من النوع

المقاومة

0.015-0.025OHM · سم 

المعلمات الميكانيكية

قطر

150.0 ± 0.2mm

سماكة

350 ± 25 ميكرون 

الاتجاه المسطح الأولي

[1-100]±5°

طول مسطح أساسي

47.5 ± 1.5mm

شقة ثانوية

لا أحد

TTV

≤5 ميكرون 

≤10 ميكرون 

≤15 ميكرون 

LTV

≤3 ميكرون (5 ملم*5 ملم)     

≤5 ميكرون (5 ملم*5 ملم)     

≤10 ميكرون (5 ملم*5 ملم)     

قَوس

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

الاعوجاج

≤35 ميكرون 

≤45 ميكرون 

≤55 ميكرون 

الخشونة الأمامية (si-face) (AFM) 

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

بناء

كثافة micropipe 

<1 EA/CM2

<10 EA/CM2

<15 EA/CM2

الشوائب المعدنية

≤5E10atoms/cm2

نا

BPD

≤1500 EA/CM2

≤3000 EA/CM2

نا

TSD

≤500 EA/CM2

≤1000 EA/CM2

نا

الجودة الأمامية

أمام

سي

الانتهاء من السطح

Si-Face CMP

الجزيئات

≤60A/WEFR (SIZE 30.3μM)

نا

الخدوش

≤5ea/مم. الطول التراكمي ≤Diameter  

الطول التراكمي ≤2*القطر  

نا

قشر البرتقال/الحفر/البقع/الدماغ/الشقوق/التلوث

لا أحد

نا

رقائق الحافة/المسافات البادئة/الكسر/الألواح السداسية

لا أحد

المناطق polytype 

لا أحد

منطقة تراكمية 20%  

التراكمية منطقة ≤30%  

وضع علامة ليزر الأمامية

لا أحد

جودة الظهر

الانتهاء من الظهر

C-Face CMP

الخدوش

≤5EA/MM ، الطول التراكمي ≤2*القطر   

نا

عيوب الظهر (رقائق الحافة/المسافات البادئة)

لا أحد

خشونة الظهر

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

عودة ليزر العلامات

1 مم (من الحافة العليا) 

حافة

حافة

شامفر

التغليف

التغليف

جاهز لـ EPI مع تغليف فراغ  

عبوات الكاسيت متعددة الفرس

*الملاحظات : "NA" تعني عدم وجود عناصر طلب لم يتم ذكرها قد تشير إلى Semi.    

tech_1_2_size

رقائق كذا

مكان عمل semicera  مكان عمل semicera 2  آلة المعدات معالجة CNN ، التنظيف الكيميائي ، طلاء CVD    خدمتنا

Newletter

نتطلع إلى اتصالك معنا