Ceramic Coating Ceramic Ceramic Coating is a high-performance protective coating made of extremely hard and wear-resistant silicon carbide (SiC) material. وعادة ما يودع المعاطف على سطح الهضبة من خلال عملية CVD أو PVD مع جزيئات الكربيد السيليكون، مما يوفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي واستقرار درجة الحرارة العالية. ولذلك، يُستخدم التكتل السيليكوني على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع شبه الموصلات.
In semiconductor manufacturing, SiC coating can withstand extremely high temperatures of up to 1600°C, so Silicon Carbide Ceramic Coating is often used as a protective layer for equipment or tools to prevent damage in high temperature or corrosive environments.
وفي الوقت نفسه، يمكن لطلاء السيراميك السيليكوني أن يقاوم تآكل الأحماض، والآلكليس، والأكسيدات وغيرها من المواد الكيميائية، كما أن لديه مقاومة تآكل كبيرة لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية. ولذلك، فإن هذا المنتج مناسب لمختلف البيئات التآكلية في صناعة شبه الموصلات.
Moreover, compared with other ceramic materials, SiC has higher thermal conductivity and can effectively conduct heat. وتحدد هذه الميزة أنه في العمليات شبه الموصلية التي تتطلب مراقبة دقيقة لدرجات الحرارة، تساعد السمية الحرارية العالية في التكتل السيليكوني للكاربيدات على تفريق الحرارة بشكل متساو، وتمنع التسخين المحلي، وتكفل أن يعمل الجهاز في درجة الحرارة المثلى.