ركيزة من الألومنيوم على شكل حرف M غير قطبية مقاس 10 × 10 مم - مثالية للتطبيقات الإلكترونية البصرية المتقدمة، مما يوفر جودة بلورية فائقة وثباتًا في تنسيق مدمج وعالي الدقة.
سميسيرا 10 × 10 مم ركيزة من الألومنيوم غير القطبية على شكل حرف M تم تصميمه بدقة لتلبية المتطلبات الصارمة للتطبيقات الإلكترونية البصرية المتقدمة. تتميز هذه الركيزة بتوجيه مستوى M غير قطبي، وهو أمر بالغ الأهمية لتقليل تأثيرات الاستقطاب في الأجهزة مثل مصابيح LED وثنائيات الليزر، مما يؤدي إلى تحسين الأداء والكفاءة.
ال 10 × 10 مم ركيزة من الألومنيوم غير القطبية على شكل حرف M تم تصنيعه بجودة بلورية استثنائية، مما يضمن الحد الأدنى من كثافات العيوب والسلامة الهيكلية الفائقة. وهذا يجعله خيارًا مثاليًا للنمو الفوقي لأفلام نيتريد III عالية الجودة، والتي تعتبر ضرورية لتطوير الجيل التالي من الأجهزة الإلكترونية الضوئية.
تضمن هندسة Semicera الدقيقة أن كل منها 10 × 10 مم ركيزة من الألومنيوم غير القطبية على شكل حرف M يوفر سمكًا ثابتًا وتسطيحًا للسطح، وهو أمر ضروري لترسيب الأفلام بشكل موحد وتصنيع الأجهزة. بالإضافة إلى ذلك، فإن الحجم الصغير للركيزة يجعلها مناسبة لكل من بيئات البحث والإنتاج، مما يسمح بالاستخدام المرن في مجموعة متنوعة من التطبيقات. بفضل ثباتها الحراري والكيميائي الممتاز، توفر هذه الركيزة أساسًا موثوقًا لتطوير التقنيات الإلكترونية الضوئية المتطورة.
|
أغراض |
إنتاج |
بحث |
دمية |
|
معلمات الكريستال |
|||
|
متعدد الأنواع |
4H |
||
|
خطأ في اتجاه السطح |
<11-20 >4±0.15° |
||
|
المعلمات الكهربائية |
|||
|
منشط |
ن نوع النيتروجين |
||
|
المقاومة |
0.015-0.025 أوم·سم |
||
|
المعلمات الميكانيكية |
|||
|
القطر |
150.0 ± 0.2 مم |
||
|
سماكة |
350 ± 25 ميكرومتر |
||
|
التوجه المسطح الأساسي |
[1-100]±5° |
||
|
الطول المسطح الأساسي |
47.5±1.5 ملم |
||
|
شقة ثانوية |
لا أحد |
||
|
تي تي في |
≤5 ميكرون |
≤10 ميكرون |
≤15 ميكرون |
|
القيمة الدائمة |
≤3 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) |
≤5 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) |
≤10 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) |
|
قَوس |
-15 ميكرومتر ~ 15 ميكرومتر |
-35 ميكرومتر ~ 35 ميكرومتر |
-45 ميكرومتر ~ 45 ميكرومتر |
|
الاعوجاج |
≤35 ميكرون |
≤45 ميكرون |
≤55 ميكرون |
|
خشونة الجبهة (Si-face) (AFM) |
Ra<0.2nm (5μm*5μm) |
||
|
بناء |
|||
|
كثافة الأنابيب الدقيقة |
<1 لكل سم/سم2 |
<10 لكل سم/سم2 |
<15 لكل وحدة/سم2 |
|
الشوائب المعدنية |
≤5E10atoms/cm2 |
غير متوفر |
|
|
اضطراب الشخصية الحدية |
≤1500 قطعة/سم2 |
≤3000 قطعة/سم2 |
غير متوفر |
|
TSD |
≤500 قطعة/سم2 |
≤1000 قطعة/سم2 |
غير متوفر |
|
الجودة الأمامية |
|||
|
أمام |
سي |
||
|
الانتهاء من السطح |
سي الوجه CMP |
||
|
الجسيمات |
≤60 قطعة/رقاقة (الحجم ≥0.3μm) |
غير متوفر |
|
|
الخدوش |
≤5ea/مم. الطول التراكمي ≥ القطر |
الطول التراكمي ≥2*القطر |
غير متوفر |
|
قشر البرتقال / الحفر / البقع / التشققات / الشقوق / التلوث |
لا أحد |
غير متوفر |
|
|
رقائق الحافة/المسافات البادئة/الكسر/ألواح سداسية |
لا أحد |
||
|
مناطق متعددة الأنواع |
لا أحد |
المساحة التراكمية ≥20% |
المساحة التراكمية ≥30% |
|
علامات الليزر الأمامية |
لا أحد |
||
|
جودة الظهر |
|||
|
الانتهاء من الخلف |
C-الوجه CMP |
||
|
الخدوش |
≤5ea/mm، الطول التراكمي ≥2*القطر |
غير متوفر |
|
|
عيوب الظهر (رقائق الحواف/المسافات البادئة) |
لا أحد |
||
|
خشونة الظهر |
Ra<0.2nm (5μm*5μm) |
||
|
وسم بالليزر على الظهر |
1 ملم (من الحافة العلوية) |
||
|
حافة |
|||
|
حافة |
الشطب |
||
|
التعبئة والتغليف |
|||
|
التعبئة والتغليف |
Epi جاهز مع تعبئة مفرغة من الهواء تغليف كاسيت متعدد الرقاقات |
||
|
*ملاحظات: "NA" تعني عدم وجود طلب. قد تشير العناصر غير المذكورة إلى SEMI-STD. |
|||
