نظام القطع بالليزر LMJ المتقدم لمعالجة رقائق أشباه الموصلات 

نجحت تقنية القطع بالليزر microjet من Scmicera في تحقيق قطع وتقطيع وتقطيع سبائك كربيد السيليكون مقاس 6 بوصات، كما أنها متوافقة أيضًا مع المعالجة البلورية مقاس 8 بوصات. إنه يتيح معالجة عالية الكفاءة وعالية الجودة ومنخفضة الضرر وعالية الإنتاجية لركائز السيليكون أحادية البلورية، مع تقليل تكاليف الإنتاج الإجمالية بشكل كبير. 

ليزر ميكروجيت (LMJ) 

وصف

تعمل تقنية Laser MicroJet (LMJ) على دمج شعاع الليزر المركّز في نفاثة مياه دقيقة عالية السرعة ومستقرة. يتم توجيه الليزر داخل عمود الماء من خلال الانعكاس الداخلي الكلي عند السطح البيني للماء والهواء، مما يشكل شعاع طاقة بتوزيع مقطعي موحد. تتيح هذه الآلية إزالة المواد بدقة عالية في ظل ظروف الاتجاه المتحكم فيه، وكثافة الطاقة العالية، وتبريد السطح في الوقت الفعلي. 

توفر هذه التقنية عرض شق ضيق للغاية، ودقة معالجة عالية، وأقل تأثير حراري، مما يجعلها مثالية للتصنيع المتكامل والفعال للمواد الصلبة والهشة. 

معدات المعالجة بالليزر ميكروجيت-2-3

مبدأ العمل

تستخدم تقنية LMJ الفرق في مؤشرات الانكسار البصري بين الماء والهواء. تنعكس نبضات الليزر بالكامل داخل نفث الماء عالي النقاء، مما يسمح للشعاع بالانتشار بطريقة مستقرة مماثلة لنقل الألياف الضوئية. 

بمجرد اقترانه بنفث الماء، ينتقل الليزر دون أي عائق داخل العمود، محميًا بالكامل من التأثيرات البيئية الخارجية مثل الغبار أو البلازما أو الاضطرابات الجوية. 

مزايا الليزر الميكروجيت

  • شعاع ليزر أسطواني (موازى). 
    يتم إدخال الليزر كشعاع ثابت ومتوازي في نفاث الماء، مما يضمن توزيعًا ثابتًا للطاقة. 
  • توجيه شعاع يشبه الألياف
    تنتقل نبضات الليزر داخل نفاث الماء، وتكون محمية تمامًا من الاضطرابات البيئية طوال العملية. 
  • لا حاجة إلى إعادة التركيز المستمر
    يتم تثبيت تركيز الليزر داخل نظام LMJ. ليست هناك حاجة لضبط الموضع البؤري مع تغير عمق المعالجة. 
  • منطقة متأثرة بالحرارة المنخفضة للغاية (HAZ) 
    بعد كل نبضة، تظل قطعة العمل في حالة تبريد لحوالي 99% من دورة المعالجة. يعمل هذا التبريد المائي في الوقت الفعلي على التخلص بشكل فعال من الأضرار الحرارية وإعادة تشكيل الطبقات مع الحفاظ على كفاءة المعالجة العالية. 
  • تأثير تنظيف السطح المستمر
    تعمل نفاثات الماء على إزالة الحطام والجزيئات بشكل مستمر من منطقة المعالجة، مما يضمن مسار قطع نظيف. 

com.zsdfgafdeg

fcghjdxfrg

في القطع التقليدي بالليزر، يعد تراكم الطاقة وتوصيل الحرارة على طول مسار القطع من الأسباب الرئيسية للضرر الحراري على جانبي الشق. في المقابل، تعمل تقنية LMJ على إزالة الحرارة المتبقية بسرعة بعد كل نبضة عبر نفث الماء، مما يمنع تراكم الحرارة على قطعة العمل ويؤدي إلى حافة قطع نظيفة ودقيقة. 

تدوين الجهاز

عند القطع بالليزر التقليدي، يكون تراكم الطاقة وتوصيلها هو السبب الرئيسي للضرر الحراري على جانبي مسار القطع، وسيقوم ليزر microjet، بسبب دور عمود الماء، بإزالة الحرارة المتبقية بسرعة ولن تتراكم كل نبضة على قطعة العمل، وبالتالي فإن مسار القطع نظيف. بالنسبة لطريقة "القطع المخفي" + "التقسيم" التقليدية، يتم تقليل تكنولوجيا المعالجة. 

لقطة شاشة WeChat_20230808102322

ZFVBsdF

رسالة جديدة

نتطلع إلى اتصالك معنا