مصاصة السيراميك الألومينا أشباه الموصلات عبارة عن ظرف مفرغ عالي الدقة مصنوع من سيراميك الألومينا عالي النقاء (Al₂O₃). إنه يوفر ثباتًا ثابتًا للرقاقة من خلال الامتزاز الفراغي، مما يوفر عزلًا كهربائيًا ممتازًا وقوة ميكانيكية عالية ومقاومة فائقة لدرجات الحرارة العالية والتآكل والتآكل. يتم استخدامه على نطاق واسع في معدات معالجة أشباه الموصلات لمعالجة الرقائق الدقيقة والنظيفة والموثوقة.
سيراميك الألومينا (Al₂O₃) عبارة عن سيراميك هندسي متقدم معروف بصلابته المتميزة ومقاومته للتآكل وخصائصه خفيفة الوزن. بفضل صلابة روكويل HRA 80-90، فهي توفر صلابة في المرتبة الثانية بعد الماس وتتجاوز بكثير صلابة الفولاذ المقاوم للتآكل والفولاذ المقاوم للصدأ. مقاومة التآكل في Semcioera عالية بشكل استثنائي - تصل إلى 266 مرة أكثر من الفولاذ المنغنيز و 171.5 أضعاف الحديد الزهر عالي الكروم - مما يطيل عمر خدمة المعدات بشكل كبير في ظل ظروف عمل مماثلة. بالإضافة إلى ذلك، مع كثافة منخفضة حوالي 3.5 جم/سم3 (ما يقرب من نصف الفولاذ)، تساعد سيراميك الألومينا من Semicera على تقليل الوزن والحمل الإجمالي للمعدات، مما يجعلها مثالية للتطبيقات الهيكلية عالية الأداء والمقاومة للتآكل.
مصاصة السيراميك الألومينا أشباه الموصلات يتميز بأداء ممتاز للتعامل مع الرقاقات في عمليات أشباه الموصلات المتطورة:
نظافة عالية
توليد جزيئات منخفضة، مناسب لبيئات غرف الأبحاث من الفئة 1 / الفئة 10.
صلابة عالية ومقاومة التآكل
يمنع خدش الرقاقة ويضمن عمر خدمة طويل.
مقاومة درجات الحرارة العالية
قابل للتطبيق في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل الأمراض القلبية الوعائية، وPVD، والنقش.
استقرار كيميائي ممتاز
مقاوم للأحماض والقلويات، ولا يتسبب في تلوث العملية.
استقرار الأبعاد الجيد
يضمن التمدد الحراري المنخفض دقة محاذاة عالية ودقة عملية.
صناعة التطبيقات: الآلات والإلكترونيات والكيميائية والبترول وغيرها من المجالات الصناعية.
تطبيقات محددة: ركائز السيراميك الكهربائية، الغطاسات، حلقات الختم، المكونات المقاومة للتآكل، الأجزاء العازلة، والمكونات الهيكلية المقاومة للتآكل.
