تستخدم حلقات CVD SiC السائبة غاز مصدر السيليكون (مثل هيدريد السيليكون) وغاز مصدر الكربون (مثل الميثان) كمواد خام، وتتفاعل عند درجة حرارة عالية لترسيب مواد SiC كبيرة الحجم على ركيزة أو قالب. تسمح هذه العملية بترسيب SiC بشكل موحد على مساحة كبيرة، مما يشكل بنية حلقية قوية ومتسقة.
تُستخدم حلقات RTP CVD SiC على نطاق واسع في المجالات الصناعية والعلمية في درجات الحرارة المرتفعة والبيئات المسببة للتآكل. إنه يلعب دورًا مهمًا في تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية والآلات الدقيقة والصناعة الكيميائية. وتشمل التطبيقات المحددة:
1. تصنيع أشباه الموصلات: يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC لتسخين وتبريد معدات أشباه الموصلات، مما يوفر تحكمًا ثابتًا في درجة الحرارة ويضمن دقة واتساق العملية.
2. الإلكترونيات الضوئية: نظرًا للتوصيل الحراري الممتاز ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية، يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC كمواد دعم وتبديد الحرارة لأجهزة الليزر ومعدات اتصالات الألياف الضوئية والمكونات البصرية.
3. الآلات الدقيقة: يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC للأدوات والمعدات الدقيقة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل، مثل أفران درجة الحرارة العالية وأجهزة التفريغ والمفاعلات الكيميائية.
4. الصناعة الكيميائية: نظرًا لمقاومتها للتآكل وثباتها الكيميائي، يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC في الحاويات والأنابيب والمفاعلات في التفاعلات الكيميائية والعمليات التحفيزية.
أداء المنتج:
1. تلبية العملية أدناه 28nm
2. مقاومة فائقة للتآكل
3. أداء فائق النظافة
4. صلابة فائقة
5. كثافة عالية
6. مقاومة درجات الحرارة العالية
7. مقاومة التآكل
تطبيق المنتج:
تتميز مواد كربيد السيليكون بخصائص الصلابة العالية ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل واستقرار درجات الحرارة العالية. يتم استخدام المنتجات ذات الأداء الشامل الممتاز على نطاق واسع في عمليات الحفر الجاف وعمليات TF/الانتشار.
أداء المنتج:
1. تلبية العملية أدناه 28nm
2. مقاومة فائقة للتآكل
3. أداء فائق النظافة
4. صلابة فائقة
5. كثافة عالية
6. مقاومة درجات الحرارة العالية
7. مقاومة التآكل
تطوير العمليات المركبة:
الجرافيت + طلاء سيك
سوليد السيرة الذاتية كذا
متكلس SiC+CVD
سيك متكلس كربيد
تطوير أنواع المنتجات المتعددة:
جرس
طاولة
مشتبه به
رأس الدش
