Graphite Susceptor with Silicon Carbide Coating Wafer Carrier

تقدم Semicera مجموعة شاملة من المصممين ومكونات الجرافيت المصممة لمختلف مفاعلات Epitaxy. من خلال الشراكات الاستراتيجية مع مصنعي المعدات الأصلية الرائدة في الصناعة ، وخبرة واسعة في المواد ، وقدرات التصنيع المتقدمة ، تقدم Semicera تصميمات مصممة لتلبية المتطلبات المحددة لتطبيقك. يضمن التزامنا بالتميز أن تتلقى حلولًا مثالية لاحتياجات مفاعل Epitaxy.       

وصف

CVD-SiC coating has the characteristics of uniform structure, compact material, high temperature resistance, oxidation resistance, high purity, acid&alkali resistance and organic reagent, with stable physical and chemical properties.
Compared with high-purity graphite materials, graphite begins to oxidize at 400C, which will cause a loss of powder due to oxidation, resulting in environmental pollution to peripheral devices and vacuum chambers, and increase impurities of high-purity environment.
However, SiC coating can maintain physical and chemical stability at 1600 degrees, It is widely used in modern industry, especially in semiconductor industry.

FDVCDV

zcfvzxcvZSXCv

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SIC protective layer. The SIC formed is firmly bonded to the graphite base, giving the graphite base special properties, thus making the surface of the graphite compact, Porosity-free, high temperature resistance, corrosion resistance and oxidation resistance.

طلب

Graphite Susceptor with Silicon Carbide Coating Wafer Carrier插图2

Main Features

1. نقاء عالية الكيس المغلفة 

2. مقاومة الحرارة المتفوقة والتوحيد الحراري 

3. Fine SiC crystal coated for a smooth surface

4. المتانة العالية ضد التنظيف الكيميائي 

Main Specifications of CVD-SIC Coatings

SiC-CVD
كثافة (g/cc) 3.21
قوة الانثناء (Mpa) 470
Thermal expansion (10-6/K) 4
الموصلية الحرارية (W/MK) 300

Packing and Shipping

Supply Ability:
10000 Piece/Pieces per Month
Packaging & Delivery:
Packing:Standard & Strong Packing
Poly bag + Box + Carton + Pallet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Lead Time:

Quantity(Pieces) 1 – 1000 >1000
Est. Time(days) 15 To be negotiated
مكان عمل semicera 
مكان عمل semicera 2 
آلة المعدات
معالجة CNN ، التنظيف الكيميائي ، طلاء CVD   
خدمتنا

Newletter

نتطلع إلى اتصالك معنا