تعد شركة Semicera موردًا محترفًا للمكونات الخزفية المتقدمة والجرافيت المطلي لمعدات أشباه الموصلات. ملكنا أجزاء الجرافيت المطلية بـ SiC للمعدات الفوقي SiC تم تصميمها للاستخدام في غرفة التفاعل لأنظمة الفوقية SiC، مما يوفر أداءً مستقرًا في بيئات العمليات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل.
هذه الأجزاء مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء مع طبقة من كربيد السيليكون (SiC)، مما يعمل على تحسين صلابة السطح ومقاومة الأكسدة والتحكم في الجسيمات، مما يضمن عمر خدمة طويل وظروف معالجة مستقرة.
تعد شركة Semicera موردًا محترفًا لمكونات الجرافيت المطلية المتقدمة لمعدات أشباه الموصلات. ملكنا جزء نصف القمر مطلي بالجرافيت SiC هو مكون هيكلي رئيسي يستخدم في المعدات الفوقي SiC وغيرها من غرف معالجة أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية.
باستخدام تكنولوجيا الطلاء المتقدمة، يتم تصنيع المنتج باستخدام الجرافيت عالي النقاء كمادة أساسية وطلاء موحد من كربيد السيليكون (SiC) على السطح. وهذا يضمن استقرارًا ممتازًا وعمر خدمة طويل وأداءً موثوقًا في بيئات العمليات القاسية.
يتم استخدام التصميم نصف القمر بشكل أساسي داخل غرفة التفاعل لدعم استقرار العملية والمساعدة في الحفاظ على ظروف التدفق الحراري والغازي الموحد. لا يتلامس بشكل مباشر مع الرقاقة.
