تم تصميم جهاز Semicera عالي النقاء CVD SiC المطلي برقائق الجرافيت الناقلة لعمليات أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية مثل MOCVD وCVD والنمو الفوقي. يتم تصنيعه باستخدام الجرافيت عالي النقاء كمادة أساسية، مع طبقة كثيفة من كربيد السيليكون (SiC) يتم ترسيبها عبر ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
يوفر طلاء SiC حماية ممتازة ضد الأكسدة والتآكل الكيميائي والتلوث بالجسيمات، مما يحسن بشكل كبير عمر الخدمة واستقرار العملية في البيئات الحرارية القاسية.
يضمن هذا المنتج دعمًا مستقرًا للرقاقة، ونقلًا موحدًا للحرارة، وسلامة هيكلية عند درجة حرارة عالية، مما يجعله مناسبًا لعمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة وLED.
يُظهر سيراميك كربيد السيليكون (SiC) خواص ميكانيكية ممتازة في درجة حرارة الغرفة، بما في ذلك القوة العالية والصلابة العالية ومعامل المرونة العالي. كما أنها توفر أداءً متميزًا في درجات الحرارة العالية، مثل الموصلية الحرارية العالية، ومعامل التمدد الحراري المنخفض، والصلابة النوعية الممتازة، إلى جانب إمكانية التصنيع الجيدة للتطبيقات البصرية والهيكلية الدقيقة.
نظرًا لهذا المزيج الفريد من الخصائص، فإن سيراميك SiC مناسب بشكل خاص للمكونات الدقيقة المستخدمة في معدات تصنيع الدوائر المتكاملة، بما في ذلك أنظمة الطباعة الحجرية. تشمل التطبيقات النموذجية ناقلات/مستقبلات SiC، وقوارب الرقاقات، وخراطيش التفريغ، وألواح تبريد المياه، والمرايا البصرية الدقيقة، والشبكات، وغيرها من الأجزاء الهيكلية الخزفية عالية الدقة المستخدمة في معدات معالجة أشباه الموصلات.
يمكن لشركة Semicera أن تزود العملاء بحاملات رقائق مخصصة من السيليكون ومواد كربيد السيليكون لتلبية التطبيقات المختلفة.
| ملكية | قيمة |
| كثافة | 3.21 جم/سم مكعب |
| حرارة محددة | 0.66 جول/جم درجة كلفن |
| قوة الانحناء | 450 ميجا باسكال 560 ميجا باسكال |
| صلابة الكسر | 2.94 ميجا باسكال م1/2 |
| صلابة | 2800 |
| معامل المرونة معامل يونغ | 450 جيجا باسكال430 جيجا باسكال |
| حجم الحبوب | 2 - 10 ميكرون |
Semicera أشباه الموصلات هي مورد لمكونات سيراميك أشباه الموصلات المتقدمة، وتوفر مواد عالية الأداء وأجزاء دقيقة لتطبيقات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية. وتمتلك الشركة قدرات في مجال سيراميك كربيد السيليكون عالي النقاء، بما في ذلك كربيد السيليكون المعاد بلورته (R-SiC)، بالإضافة إلى طلاءات كربيد السيليكون CVD (SiC).
بالإضافة إلى ذلك، تعمل Semicera أيضًا مع مجموعة من السيراميك التقني المتقدم، مثل الألومينا (Al₂O₃)، ونيتريد الألومنيوم (AlN)، والزركونيا (ZrO₂)، ونيتريد السيليكون (Si₃N₄)، لتلبية متطلبات التطبيقات المتنوعة.
وتشمل منتجاتنا الرئيسية أقراص النقش من كربيد السيليكون، وحاملات قوارب كربيد السيليكون، وقوارب رقائق كربيد السيليكون (للعمليات الكهروضوئية وأشباه الموصلات)، وأنابيب أفران كربيد السيليكون، ومجاديف الكابولي من كربيد السيليكون، وخراطيش كربيد السيليكون، وعوارض كربيد السيليكون، بالإضافة إلى طلاءات CVD SiC وطلاءات TaC.
تُستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية، بما في ذلك نمو البلورات، والترسيب الفوقي، والحفر، والتعبئة، وعمليات الطلاء، وأنظمة أفران الانتشار.
