Semicera’s High Purity SiC Carrier Susceptor is designed for advanced semiconductor and LED manufacturing processes, offering exceptional thermal stability and superior performance at high temperatures. Made from high-purity silicon carbide, this susceptor ensures efficient heat distribution, improved process uniformity, and increased durability. Ideal for MOCVD, CVD, and other high-temperature applications, Semicera’s SiC carrier susceptor provides reliable and long-lasting performance, helping optimize your production efficiency and product quality.
تحتوي السيراميك على كربيد السيليكون على خصائص ميكانيكية ممتازة في درجة حرارة الغرفة ، مثل القوة العالية ، والصلابة العالية ، والمعامل المرنة العالية ، وما إلى ذلك ، كما أن لديها ثباتًا كبيرًا في درجات الحرارة العالية مثل الموصلية الحرارية العالية ، ومعامل التمدد الحراري المنخفض ، وأداء تصلب محدد جيد.
وهي مناسبة بشكل خاص لإنتاج أجزاء من السيراميك الدقيقة لمعدات الدوائر المدمجة مثل آلات الطباعة الحجرية ، وتستخدم بشكل أساسي لتصنيع حامل/حساء SIC ، وقارب رقاقة كذا ، وقرص مص ، ولوحة تبريد الماء ، وعاكس قياس الدقة ، ورسالة القضبان وغيرها من الأجزاء الهيكلية الخزفية الأخرى
High temperature resistance: normal use at 1800 ℃
High thermal conductivity: equivalent to graphite material
High hardness: hardness second only to diamond, boron nitride
Corrosion resistance: strong acid and alkali have no corrosion to it, the corrosion resistance is better than tungsten carbide and alumina
Light weight: low density, close to aluminum
No deformation: low coefficient of thermal expansion
Thermal shock resistance: it can withstand sharp temperature changes, resist thermal shock, and has stable performance
Silicon carbide carrier such as sic etching carrier, ICP etching susceptor, are widely used in semiconductor CVD, vacuum sputtering etc. We can provide customers with customized wafer carriers of silicon and silicon carbide materials to meet different applications.
| ملكية | قيمة | طريقة |
| كثافة | 3.21 جم/سم مكعب | مغسلة والأبعاد |
| حرارة محددة | 0.66 J/g °K | فلاش الليزر النبضي |
| قوة الانثناء | 450 MPa560 MPa | 4 point bend, RT4 point bend, 1300° |
| الكسر المتانة | 2.94 MPa M1/2 | microindentation |
| صلابة | 2800 | Vicker’s, 500g load |
| Elastic ModulusYoung’s Modulus | 450 GPA430 GPA | 4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C |
| حجم الحبوب | 2 – 10 µm | SEM |
يعد أشباه الموصلات شبه الموردة المورد الرئيسي لسيراميك أشباه الموصلات المتقدمة والشركة المصنعة الوحيدة في الصين التي يمكنها في وقت واحد توفير سيراميك كربيد سيليكون عالي النقاء (وخاصة طلاء SIC المعاد بلورة) و CVD SIC. بالإضافة إلى ذلك ، تلتزم شركتنا أيضًا بحقول السيراميك مثل الألومينا ونيتريد الألومنيوم والزركونيا ونيتريد السيليكون ، إلخ.
منتجاتنا الرئيسية بما في ذلك: قرص الحفر كربيد السيليكون ، قارب كربيد السيليكون ، قارب رقائق كربيد السيليكون (الكهروضوئية وشبكيات الموصلات) ، أنبوب فرن كربيد السيليكون ، ومجدان الكابينة من السيليكون ، وتجديف الكآبة السيليكون ، ومكافحة السيليكون. تستخدم المنتجات بشكل أساسي في صناعات أشباه الموصلات والصناعة الكهروضوئية ، مثل معدات النمو الكريستالي ، و Epitaxy ، والحفر ، والتعبئة ، والطلاء والانتشار ، وما إلى ذلك. 
