تم تصميم سخانات الركيزة وعناصر التسخين MOCVD من Semicera لتلبية المتطلبات الصعبة لعمليات تنضيد أشباه الموصلات. تم تصميم هذه المكونات للاستخدام في أنظمة MOCVD، حيث توفر توزيعًا موحدًا للحرارة، وتحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، واستقرارًا حراريًا ممتازًا، مما يساعد في الحفاظ على ظروف نمو متسقة عبر سطح الرقاقة.
تم تصنيعها من مواد عالية الجودة وتم تحسينها للتشغيل في درجات الحرارة العالية، وتوفر حلول التدفئة من Semicera أداءً موثوقًا وعمر خدمة طويل وإدارة حرارية فعالة. يتم استخدامها على نطاق واسع في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات، وإلكترونيات الطاقة، والرقائق الفوقية LED، مما يدعم تحسين اتساق العملية وكفاءة التصنيع الشاملة.
سخان الركيزة MOCVD، عناصر التسخين لـ MOCVD
سخان الجرافيت:
يتم استخدام مكونات سخان الجرافيت في الفرن ذو درجة الحرارة العالية مع درجة حرارة تصل إلى 2200 درجة في بيئة فراغية و 3000 درجة في بيئة غازية منزوعة الأكسدة ومدخلة.
1. توحيد هيكل التدفئة.
2. الموصلية الكهربائية الجيدة والحمل الكهربائي العالي.
3. مقاومة التآكل.
4. عدم الأكسدة.
5. نقاء كيميائي عالي.
6. قوة ميكانيكية عالية.
الميزة هي كفاءة الطاقة والقيمة العالية والصيانة المنخفضة.
يمكننا إنتاج بوتقة الجرافيت المضادة للأكسدة وطويلة العمر، قالب الجرافيت، وجميع أجزاء سخان الجرافيت.
الميزة: مقاومة درجات الحرارة العالية
التطبيق: MOCVD/فرن فراغ/منطقة ساخنة
الكثافة الظاهرية: 1.68-1.91g/cm3
قوة الانثناء: 30-46MPa
المقاومة: 7-12μΩ
| المواصفات الفنية | VET-M3 |
| الكثافة الظاهرية (جم/سم3) | 1.68-1.91 |
| محتوى الرماد (جزء في المليون) | ≤500 |
| صلابة الشاطئ | ≥45 |
| المقاومة النوعية (μ.Ω.m) | ≤12 |
| قوة الانثناء (ميغاباسكال) | ≥40 |
| قوة الضغط (ميغاباسكال) | ≥70 |
| الأعلى. حجم الحبوب (ميكرومتر) | ≤43 |
| معامل التمدد الحراري مم/درجة مئوية | ≤4.4*10-6 |
يتم تصنيع سخانات الجرافيت الخاصة بالأفران الكهربائية من Semicera من مواد الجرافيت عالية النقاء، مما يوفر مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، والاستقرار الحراري، والتوصيل الكهربائي، والقوة الميكانيكية. تم تصميم هذه السخانات لبيئات المعالجة الحرارية المتطلبة، وتوفر توليدًا فعالًا وموحدًا للحرارة مع الحفاظ على أداء موثوق به في ظل التشغيل لفترات طويلة في درجات حرارة عالية. يمكن لـ Semicera تصنيع مجموعة واسعة من تكوينات سخانات الجرافيت وفقًا لرسومات ومواصفات العملاء، ودعم الحلول المخصصة لتطبيقات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية والأفران الفراغية وتطبيقات المعالجة الحرارية.
تعتبر شركة Semicera موردًا لسيراميك أشباه الموصلات المتقدم والشركة المصنعة الوحيدة في الصين التي يمكنها توفير سيراميك كربيد السيليكون عالي النقاء في نفس الوقت (خاصة SiC المعاد بلورته) وطلاء CVD SiC. بالإضافة إلى ذلك، شركتنا ملتزمة أيضًا بمجالات السيراميك مثل الألومينا، نيتريد الألومنيوم، الزركونيا، ونيتريد السيليكون، إلخ.
منتجاتنا الرئيسية تشمل: قرص النقش من كربيد السيليكون، سحب قارب كربيد السيليكون، قارب رقاقة كربيد السيليكون (الضوئية وأشباه الموصلات)، أنبوب فرن كربيد السيليكون، مجداف ناتئ كربيد السيليكون، خراطيش كربيد السيليكون، شعاع كربيد السيليكون، بالإضافة إلى طلاء CVD SiC وطلاء TaC. تُستخدم المنتجات بشكل أساسي في صناعات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية، مثل معدات نمو البلورات، والنقش، والحفر، والتعبئة، والطلاء، وأفران الانتشار، وما إلى ذلك.
تمتلك شركتنا معدات إنتاج كاملة مثل القولبة، والتلبيد، والمعالجة، ومعدات الطلاء، وما إلى ذلك، والتي يمكنها إكمال جميع الروابط الضرورية لإنتاج المنتج ولديها إمكانية تحكم أعلى في جودة المنتج؛ يمكن اختيار خطة الإنتاج المثالية وفقًا لاحتياجات المنتج، مما يؤدي إلى انخفاض التكلفة وتزويد العملاء بمنتجات أكثر تنافسية؛ يمكننا جدولة الإنتاج بمرونة وكفاءة بناءً على متطلبات تسليم الطلب وبالتزامن مع أنظمة إدارة الطلبات عبر الإنترنت، مما يوفر للعملاء وقت تسليم أسرع وأكثر ضمانًا.
