يتم استخدام قارب الجرافيت PECVD المتوازن على نطاق واسع في وصلات مختلفة لتصنيع أشباه الموصلات، مثل ترسيب فيلم البولي سيليكون، وترسيب فيلم الأكسيد، وترسيب فيلم النتريد، وما إلى ذلك. وأدائه الممتاز يجعله حامل الرقاقة المثالي في عملية PECVD.
إن قارب الجرافيت SEMICERA المتوازن PECVD هو منتج جرافيت عالي النقاء وعالي الكثافة مصمم لدعم الرقاقة في عملية PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما). تستخدم SEMICERA تقنية الضغط المتوازن المتوازن لضمان أن يتمتع قارب الجرافيت بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل، واستقرار الأبعاد، وموصلية حرارية جيدة، وهو عنصر مستهلك لا غنى عنه في عملية تصنيع أشباه الموصلات.
▪ نقاء عالي: مادة الجرافيت ذات درجة نقاء عالية ومحتوى شوائب منخفض لتجنب تلوث سطح الرقاقة.
▪ كثافة عالية: كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، يمكن أن تتحمل درجات الحرارة العالية وبيئة الفراغ العالية.
▪ استقرار جيد للأبعاد: تغيير صغير للأبعاد عند درجة حرارة عالية لضمان استقرار العملية.
▪ توصيل حراري ممتاز: نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪ مقاومة قوية للتآكل: قادرة على مقاومة التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل المختلفة والبلازما.
|
معلمة الأداء |
نصف سيرا | إس جي إل آر 6510 | معلمة الأداء |
| الكثافة الظاهرية (جم/سم3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| قوة الانحناء (ميغاباسكال) | 63 | 60 | 49 |
| قوة الضغط (ميغاباسكال) | 135 | 130 | 103 |
| صلابة الشاطئ (HS) | 70 | 64 | 60 |
| معامل التمدد الحراري (10-6/ك) | 85 | 105 | 130 |
| معامل التمدد الحراري (10-6/ك) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| المقاومة (ميكرومتر) | 11-13 | 13 | 10 |
مزايا اختيارنا:
▪ اختيار المواد: يتم استخدام مواد الجرافيت عالية النقاء لضمان جودة المنتج.
▪ تكنولوجيا المعالجة: يتم استخدام الضغط المتوازن لضمان كثافة المنتج وتوحيده.
▪ تخصيص الحجم: يمكن تخصيص قوارب الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
▪ المعالجة السطحية: يتم توفير مجموعة متنوعة من طرق المعالجة السطحية، مثل طلاء كربيد السيليكون، ونيتريد البورون، وما إلى ذلك، لتلبية متطلبات العمليات المختلفة.
