تتكون حلقات RTP CVD SiC بشكل أساسي من كربيد السيليكون (SiC)، الذي يمنحه تركيبه الكيميائي وتركيبه البلوري أداءً ممتازًا. كربيد السيليكون عبارة عن مادة خزفية ذات نقطة انصهار عالية وصلابة عالية ومقاومة ممتازة للتآكل. إنه يعرض التوصيل الحراري الجيد والاستقرار الكيميائي في درجات الحرارة العالية، ولديه قوة ميكانيكية ممتازة ومقاومة التآكل.
تُستخدم حلقات RTP CVD SiC على نطاق واسع في المجالات الصناعية والعلمية في درجات الحرارة المرتفعة والبيئات المسببة للتآكل. إنه يلعب دورًا مهمًا في تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية والآلات الدقيقة والصناعة الكيميائية. وتشمل التطبيقات المحددة:
1. تصنيع أشباه الموصلات: يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC لتسخين وتبريد معدات أشباه الموصلات، مما يوفر تحكمًا ثابتًا في درجة الحرارة ويضمن دقة واتساق العملية.
2. الإلكترونيات الضوئية: نظرًا للتوصيل الحراري الممتاز ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية، يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC كمواد دعم وتبديد الحرارة لأجهزة الليزر ومعدات اتصالات الألياف الضوئية والمكونات البصرية.
3. الآلات الدقيقة: يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC للأدوات والمعدات الدقيقة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل، مثل أفران درجة الحرارة العالية وأجهزة التفريغ والمفاعلات الكيميائية.
4. الصناعة الكيميائية: نظرًا لمقاومتها للتآكل وثباتها الكيميائي، يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC في الحاويات والأنابيب والمفاعلات في التفاعلات الكيميائية والعمليات التحفيزية.
أداء المنتج:
1. تلبية العملية أدناه 28nm
2. مقاومة فائقة للتآكل
3. أداء فائق النظافة
4. صلابة فائقة
5. كثافة عالية
6. مقاومة درجات الحرارة العالية
7. مقاومة التآكل
تطبيق المنتج:
تتميز مواد كربيد السيليكون بخصائص الصلابة العالية ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل واستقرار درجات الحرارة العالية. يتم استخدام المنتجات ذات الأداء الشامل الممتاز على نطاق واسع في عمليات الحفر الجاف وعمليات TF/الانتشار.
أداء المنتج:
1. تلبية العملية أدناه 28nm
2. مقاومة فائقة للتآكل
3. أداء فائق النظافة
4. صلابة فائقة
5. كثافة عالية
6. مقاومة درجات الحرارة العالية
7. مقاومة التآكل
تطوير العمليات المركبة:
• طلاء الجرافيت + كربيد السيليكون
• سوليد الأمراض القلبية الوعائية كربيد السيليكون
• متكلس SiC+CVD
• سيك متكلس كربيد
تطوير أنواع المنتجات المتعددة:
• جرس
• طاولة
• مشتبه به
• رأس الدش
