سيراميك الألومينا (Al₂O₃) عبارة عن سيراميك هندسي متقدم يتكون أساسًا من أكسيد الألومنيوم. إنه يوفر عزلًا كهربائيًا ممتازًا، وقوة ميكانيكية عالية، ومقاومة تآكل رائعة، واستقرارًا حراريًا فائقًا. نظرًا لأدائه الممتاز في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل والنقاء العالي، يتم استخدام سيراميك الألومينا على نطاق واسع في معدات أشباه الموصلات مثل الحلقات العازلة ومكونات الحجرة والأجزاء الهيكلية الهامة الأخرى.
حلقة عازلة من السيراميك لأشباه الموصلات هو مكون سيراميك عالي النقاء يستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات لتوفير العزل الكهربائي والاستقرار الحراري والتحكم في التلوث. مصنعة من مواد سيراميكية متطورة مثل الألومينا (Al₂O₃)، الزركونيا (ZrO₂)، أو نيتريد الألومنيوم (AlN) ، ويستخدم على نطاق واسع في أنظمة حفر البلازما، CVD، PVD، والانتشار، ومعالجة الرقائق.
قوة ميكانيكية عالية: صلابة عالية، مقاومة للتآكل، وعمر خدمة طويل.
درجة نقاء عالية وتوليد جزيئات منخفضة: هو - هي يقلل من مخاطر التلوث ويلبي متطلبات غرف الأبحاث لأشباه الموصلات.
صناعة أشباه الموصلات
معدات النقش بالبلازما
أنظمة الأمراض القلبية الوعائية/PVD
أفران الانتشار والأكسدة
معدات زرع الأيونات
جمعيات تشاك كهرباء
معدات تجهيز الويفر
صناعة الإلكترونيات
مكونات العزل الكهربائي
الهياكل العازلة ذات الجهد العالي
المعدات الصناعية
أنظمة الفراغ
معدات معالجة درجات الحرارة العالية
مكونات العزل الدقيقة
