الزركونيا (ZrO₂) عبارة عن مادة خزفية متقدمة معروفة بقوتها الميكانيكية الاستثنائية وصلابة الكسر العالية ومقاومة التآكل الممتازة. يتم تصنيع سيراميك الزركونيا الخاص بشركة Semicera باستخدام 3 مول% زركونيا مثبتة من الإيتريا (3Y-TZP)، والتي توفر بنية دقيقة الحبيبات، مما يتيح تصنيعًا عالي الدقة ودقة أبعاد رائعة. بالمقارنة مع السيراميك التقليدي، تظهر الزركونيا صلابة فائقة، ومقاومة للصدمات، ومتانة، مما يجعلها مادة مثالية لمكونات معالجة رقائق أشباه الموصلات، والأجزاء الميكانيكية الدقيقة، والأدوات الصناعية، وأنظمة التشغيل الآلي. كما أن توليدها المنخفض للجسيمات واستقرارها الممتاز يجعلها مناسبة لبيئات تصنيع أشباه الموصلات عالية النظافة.
إن شوكة الويفر الخزفية المصنوعة من زركونيا لأشباه الموصلات عبارة عن مكون عالي الدقة لمعالجة الرقاقات يستخدم في أتمتة أشباه الموصلات وأنظمة نقل الرقاقات. تم تصنيعه من سيراميك الزركونيا (ZrO₂) عالي الأداء، وهو مصمم لنقل الرقائق ووضعها ودعمها أثناء عمليات تصنيع أشباه الموصلات. بفضل قوتها العالية، ومقاومة التآكل الممتازة، وتوليد الجسيمات المنخفض، تُستخدم شوكات سيراميك الزركونيا على نطاق واسع في روبوتات مناولة الرقاقات، وأذرع النقل، ومنافذ التحميل، ومعدات معالجة التفريغ.
الخصائص الرئيسية لأجزاء السيراميك زركونيا :
1. مقاومة التآكل ممتازة، 276 مرة أعلى من الفولاذ المقاوم للصدأ
2. كثافة أعلى من معظم أنواع السيراميك التقنية 6 جم/سم3
3. صلابة عالية، أكثر من 1300 ميجا باسكال لفيكرز
4. يمكن أن يتحمل درجات حرارة أعلى تصل إلى 2400°
5. الموصلية الحرارية المنخفضة، أقل من 3 واط/مك في درجة حرارة الغرفة
6. معامل التمدد الحراري مماثل للفولاذ المقاوم للصدأ
7. تصل صلابة الكسر الاستثنائية إلى 8 ميجا باسكال · م1/2
8. الخمول الكيميائي، ومقاومة الشيخوخة، وعدم الصدأ إلى الأبد
9. مقاومة المعادن المنصهرة بسبب نقطة الانصهار غير العادية .
صناعة أشباه الموصلات
روبوتات التعامل مع الرقاقات
أنظمة نقل الويفر
معدات ميناء التحميل
معدات التشغيل الآلي FOUP
معدات معالجة الفراغ
خطوط تصنيع أشباه الموصلات
صناعة العرض
أنظمة نقل زجاج LCD
معدات إنتاج OLED
أتمتة الدقة
المؤثرات النهائية الروبوتية
أنظمة تحديد المواقع الدقيقة
