مجداف كربيد السيليكون، المعروف أيضًا باسم مجداف ناتئ كربيد السيليكون، شعاع ناتئ كربيد السيليكون هو نوع من منتجات سيراميك كربيد السيليكون بعد تلبد درجة حرارة عالية 1850 درجة مئوية، ولكن تلبد سيراميك كربيد السيليكون بدرجة حرارة عالية هو منتجات سيراميك خاصة، بواسطة جزيئات دقيقة α-SiC والمواد المضافة المضغوطة في فراغ، عند ملامسة السيليكون السائل عند درجة حرارة عالية، والكربون في رد فعل فارغ وتسلل Si، وتشكيل β-SiC، وبالاشتراك مع α-SiC، يملأ السيليكون الحر المسامية، وذلك للحصول على مواد سيراميكية عالية الكثافة؛ لديها خصائص متفوقة مختلفة من السيراميك الصناعي.
مجداف ناتئ من كربيد السيليكون هو أحد المكونات الحاملة الهامة المستخدمة في معدات معالجة أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية، مثل أفران الانتشار، وأفران الأكسدة، وأنظمة LPCVD. وهي مصممة لحمل ونقل قوارب الويفر أثناء المعالجة الحرارية.
إنه مصنوع من كربيد السيليكون عالي النقاء (SiC)، ويوفر ثباتًا ممتازًا في درجات الحرارة العالية، ومقاومة الزحف، ومقاومة التآكل الكيميائي. حتى في ظل الظروف القاسية (1000-1600 درجة مئوية)، فإنه يحافظ على صلابة عالية واستقرار الأبعاد، مما يضمن جودة وإنتاجية معالجة الرقائق المتسقة.
|
الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد بلورته |
|
|
ملكية |
القيمة النموذجية |
|
درجة حرارة العمل (درجة مئوية) |
1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة) |
|
محتوى كربيد السيليكون |
> 99.96% |
|
محتوى سي مجاني |
< 0.1% |
|
الكثافة الظاهرية |
2.60-2.70 جم/سم3 3 |
|
المسامية الظاهرة |
< 16% |
|
قوة الضغط |
> 600 ميجا باسكال |
|
قوة الانحناء الباردة |
80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
|
قوة الانحناء الساخنة |
90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
|
التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية |
4.70 10 -6 /درجة مئوية |
|
الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية |
23 واط/م•ك |
|
معامل مرن |
240 جيجا |
|
مقاومة الصدمات الحرارية |
جيد للغاية |
يتراوح طول مجداف SiC الكابولي من 1500 إلى 3500 ملم. يمكن تصميم أبعاد مجداف SiC Cantilever وفقًا لمواصفات العميل.
