حامل رقائق الجرافيت المطلي بـ SiC

يتميز طلاء CVD SiC ببنية مجهرية كثيفة وموحدة، مما يوفر مقاومة متميزة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة الأكسدة، والخمول الكيميائي، والنقاء العالي للغاية. إنه يظهر مقاومة ممتازة للأحماض والقلويات والكواشف العضوية، مع الحفاظ على الخصائص الفيزيائية والكيميائية المستقرة في ظل ظروف التشغيل الصعبة. 

بالمقارنة مع الجرافيت عالي النقاء، والذي يبدأ في التأكسد عند حوالي 400 درجة مئوية، يوفر الجرافيت المطلي بـ CVD SiC حماية معززة بشكل كبير ضد الأكسدة. يمكن أن تؤدي أكسدة الجرافيت إلى توليد الجسيمات، وتدهور المواد، وتلوث الغرف المفرغة والمعدات المحيطة بها، وزيادة مستويات الشوائب في بيئات المعالجة عالية النقاء. 

في المقابل، يظل طلاء SiC مستقرًا كيميائيًا وفيزيائيًا عند درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية، مما يحمي بشكل فعال ركيزة الجرافيت ويطيل عمر خدمة المكونات. هذه المزايا تجعل من الجرافيت المطلي بـ CVD SiC مادة مثالية للتطبيقات الصعبة في تصنيع أشباه الموصلات، وإنتاج الخلايا الكهروضوئية، والنضوج، وعمليات CVD، وغيرها من البيئات الصناعية ذات درجة الحرارة العالية.