كمصنع صيني محترف، مورد ومصدر لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون. يُستخدم طلاء السيراميك من كربيد السيليكون من Semicera على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، خاصة في عمليات المعالجة مثل CVD وPECV. تلتزم شركة Semicera بتوفير التكنولوجيا المتقدمة وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات، وترحب باستشاراتكم الإضافية.
طلاء السيراميك من كربيد السيليكون Semicera هو طلاء وقائي عالي الأداء مصنوع من مادة كربيد السيليكون شديدة الصلابة ومقاومة للاهتراء. عادة ما يتم ترسيب الطلاء على سطح الركيزة عن طريق عملية CVD أو PVD مع جزيئات كربيد السيليكون، مما يوفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي واستقرار درجات الحرارة العالية. لذلك، يتم استخدام طلاء السيراميك من كربيد السيليكون على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.
في صناعة أشباه الموصلات، يمكن لطلاء SiC أن يتحمل درجات حرارة عالية للغاية تصل إلى 1600 درجة مئوية، لذلك غالبًا ما يستخدم طلاء السيراميك من كربيد السيليكون كطبقة واقية للمعدات أو الأدوات لمنع الضرر في درجات الحرارة المرتفعة أو البيئات المسببة للتآكل.
في الوقت نفسه، يمكن لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون أن يقاوم تآكل الأحماض والقلويات والأكاسيد والكواشف الكيميائية الأخرى، وله مقاومة عالية للتآكل لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية. لذلك، هذا المنتج مناسب لمختلف البيئات المسببة للتآكل في صناعة أشباه الموصلات.
علاوة على ذلك، بالمقارنة مع المواد الخزفية الأخرى، يتمتع SiC بموصلية حرارية أعلى ويمكنه توصيل الحرارة بشكل فعال. تحدد هذه الميزة أنه في عمليات أشباه الموصلات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، تساعد الموصلية الحرارية العالية لطلاء سيراميك كربيد السيليكون على تشتيت الحرارة بالتساوي، ومنع ارتفاع درجة الحرارة المحلية، وضمان عمل الجهاز عند درجة الحرارة المثلى.
|
الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء الأمراض القلبية الوعائية (كذا). |
|
|
ملكية |
القيمة النموذجية |
|
الهيكل البلوري |
FCC β مرحلة متعددة البلورات، موجهة بشكل رئيسي (111). |
|
كثافة |
3.21 جم/سم3 |
|
صلابة |
2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
|
حجم الحبوب |
2 ~ 10 ميكرومتر |
|
النقاء الكيميائي |
99.99995% |
|
القدرة الحرارية |
640 جول·كجم -1 ·K -1 |
|
درجة حرارة التسامي |
2700℃ |
|
قوة العاطفة |
415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
|
معامل يونغ |
430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300℃ |
|
الموصلية الحرارية |
300 واط · م -1 ·K -1 |
|
التمدد الحراري (CTE) |
4.5×10 -6 K -1 |
