تم تصميمه خصيصًا لآلات ASM، وهو يدعم الرقائق مقاس 8 بوصة، مع دقة درجة حرارة تبلغ ±1 درجة مئوية. يضمن تجويف الأمراض القلبية الوعائية المحكم النمو الفوقي عالي النقاء. نظام تحكم ذكي متكامل، يعمل على تحسين معدل الإنتاج إلى 99.97%، متوافق مع تصنيع أجهزة الطاقة/BiCMOS، ومتوافق مع بيئات غرف الأبحاث.
تتركز مزايا ASM (مواد أشباه الموصلات المتقدمة) في مجال أدوات Epitaxy بشكل أساسي في الجوانب التالية:
1. التكنولوجيا الرائدة والمعدات الناضجة
تشتهر ASM بشكل خاص بسلسلة Aixtron وEpsilon من الآلات الفوقي، ولديها منتجات ناضجة في مجال النمو الفوقي لأنظمة مواد متعددة مثل السيليكون أحادي البلورية، وSiC (كربيد السيليكون)، وGaN (نيتريد الغاليوم). بخاصة
سلسلة Epsilon (فرن أحادي الشريحة): تستخدم على نطاق واسع في طبقة السيليكون (Si EPI)، وتشتهر بالتحكم الدقيق في السُمك، والتوحيد، وانخفاض كثافة العيوب.
سلسلة Aixtron (MOCVD): مع التركيز على طبقة أشباه الموصلات المركبة (مثل GaN وSiC EPI)، فهي مناسبة لصناعات مثل أجهزة الطاقة ومصابيح LED والليزر.
2. التوحيد الممتاز بين القطع والتحكم في السماكة
تحتوي الأجهزة الفوقي لـ ASM عمومًا على:
التوحيد الممتاز: يتم التحكم في التوحيد داخل الرقاقة (WIW) والتوحيد بين الرقاقة (WIF) ضمن نطاق خطأ ضيق، مما يسهل التحكم في العملية اللاحقة.
السُمك المتميز ودقة المنشطات: الرائدة في الصناعة من حيث التحكم في السُمك (مثل طبقات EPI بسمك 1-10 ميكرومتر) واتساق المنشطات (البورون والفوسفور والزرنيخ).
3. قدرة عالية وتكلفة ملكية منخفضة (COO)
تعتبر أفران ASM العمودية متعددة الرقائق (مثل الأفران العمودية) مناسبة بشكل خاص للإنتاج الضخم على نطاق واسع، وهي قادرة على معالجة 50 إلى 200 رقاقة في دفعة واحدة، ويمكن تطبيقها على خطوط الإنتاج الحساسة للتكلفة.
تعتبر سلسلة Epsilon أحادية الشريحة مناسبة لإنتاج كميات صغيرة من المنتجات عالية الدقة، مع تحويل مرن وسهولة الصيانة.
4. التوسع السريع في نضوج كربيد السيليكون
تعمل ASM بنشاط على توسيع السوق الفوقي لـ SiC:
الاستحواذ على شركة LPE SpA، مما يعزز الاحتياطي الفني للمعدات الفوقي من SiC؛
تدعم أجهزة ASM's SiC EPI معدلات نمو عالية (> 30 ميكرومتر/ساعة)، والتحكم في العيوب المنخفضة (BPD، TSD)، وتم تحسينها خصيصًا لمتطلبات أجهزة الطاقة مثل MOSFETs وصمامات شوتكي.
