The TaC Coated Epi Wafer Carrier by Semicera is engineered for superior performance in epitaxial processes. Its tantalum carbide coating offers exceptional durability and high-temperature stability, ensuring optimal wafer support and enhanced production efficiency. Semicera’s precision manufacturing guarantees consistent quality and reliability in semiconductor applications.
TaC coated epitaxial wafer carriers are usually used in the preparation of high-performance optoelectronic devices, power devices, sensors and other fields. This epitaxial wafer carrier refers to the deposition of تاك thin film on the substrate during the crystal growth process to form a wafer with specific structure and performance for subsequent device preparation.
Chemical vapor deposition (CVD) technology is usually used to prepare TaC coated epitaxial wafer carriers. By reacting metal organic precursors and carbon source gases at high temperature, a TaC film can be deposited on the surface of the crystal substrate. This film can have excellent electrical, optical and mechanical properties and is suitable for the preparation of various high-performance devices.
يوفر Semicera الطلاءات المتخصصة في Tantalum Carbide (TAC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera الطلاء Tantalum Carbide (TAC) لتحقيق نقاء مرتفع ، واستقرار ارتفاع درجات الحرارة والتسامح الكيميائي العالي ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI ( غلاك تاك المغلفة بالجرافيت) ، وتوسيع عمر مكونات المفاعل الرئيسية. يتمثل استخدام طلاء Tantalum Carbide TAC في حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورة ، وقد حلت Semicera اختراق تقنية طلاء كربيد Tantalum (CVD) ، حيث وصلت إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التنمية ، غزت Semicera تكنولوجيا CVD تاك مع الجهود المشتركة من قسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SIC ، ولكن بعد الاستخدام تاك, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
علاوة على ذلك ، Semicera's المنتجات المغلفة TAC إظهار عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر درجات الحرارة مقارنة بـ الطلاء كذا. لقد أظهرت قياسات المختبر أن الطلاء TAC يمكن أن تؤدي باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. فيما يلي بعض الأمثلة على عيناتنا:
