تم تصميم حلقة دليل الجرافيت المطلية بـ TaC من Semicera Semiconductor لنمو بلورات كربيد السيليكون، مما يوفر مقاومة استثنائية للتآكل واستقرارًا حراريًا. اختر Semicera للحصول على مكونات موثوقة وعالية الأداء.
تشير حلقات توجيه الجرافيت المطلية بـ TaC إلى ترسب طبقة رقيقة من كربيد التنتالوم على سطح حلقة توجيه الجرافيت لتحسين مقاومة التآكل ومقاومة درجات الحرارة العالية والثبات الكيميائي. عادة ما يتم تشكيل هذا الطلاء على سطح حلقة توجيه الجرافيت من خلال تقنيات مثل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، تمكنت شركة Semicera من غزو تكنولوجيا CVD TaC من خلال الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد استخدام TaC، يكون الفرق كبيرًا. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
تشمل السمات الرئيسية لحلقات دليل الجرافيت المطلية بـ TaC:
1. مقاومة درجات الحرارة العالية: يتميز طلاء TaC بثبات ممتاز في درجات الحرارة العالية ويمكنه الحفاظ على الاستقرار في بيئات درجات الحرارة المرتفعة.
2. مقاومة التآكل: الصلابة العالية للطبقة الرقيقة من كربيد التنتالوم تمنح حلقة التوجيه مقاومة جيدة للتآكل وتطيل عمر الخدمة.
3. الاستقرار الكيميائي: يتميز طلاء TaC بثبات عالي ضد التآكل الكيميائي، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات في بعض الوسائط المسببة للتآكل.
4. تقليل الاحتكاك: يمكن لطلاء TaC أن يقلل بشكل فعال الاحتكاك بين حلقة توجيه الجرافيت والمكونات الأخرى وتحسين كفاءة الأختام الميكانيكية.
علاوة على ذلك، تتميز منتجات Semicera المطلية بـ TaC بعمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بالمنتجات الأخرى. طلاءات كربيد السيليكون. أثبتت القياسات المعملية أن طلاءات TaC الخاصة بنا يمكن أن تعمل باستمرار عند درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
