مع ظهور رقائق كربيد السيليكون (SiC) مقاس 8 بوصات، أصبحت متطلبات عمليات أشباه الموصلات المختلفة صارمة بشكل متزايد، خاصة بالنسبة للعمليات الفوقية حيث يمكن أن تتجاوز درجات الحرارة 2000 درجة مئوية. تميل المواد المستقبِلة التقليدية، مثل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون، إلى التسامي عند درجات الحرارة المرتفعة هذه، مما يعطل عملية النفوق. ومع ذلك، يعالج كربيد التنتالوم CVD (TaC) هذه المشكلة بشكل فعال، حيث يتحمل درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية ويوفر عمر خدمة أطول. اتصل بمسؤول طلاء Semicera'sTaC لاستكشاف المزيد حول حلولنا المتقدمة.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
مع ظهور رقائق كربيد السيليكون (SiC) مقاس 8 بوصات، أصبحت متطلبات عمليات أشباه الموصلات المختلفة صارمة بشكل متزايد، خاصة بالنسبة للعمليات الفوقية حيث يمكن أن تتجاوز درجات الحرارة 2000 درجة مئوية. تميل المواد المستقبِلة التقليدية، مثل الجرافيت المطلي بكربيد السيليكون، إلى التسامي عند درجات الحرارة المرتفعة هذه، مما يعطل عملية النفوق. ومع ذلك، يعالج كربيد التنتالوم CVD (TaC) هذه المشكلة بشكل فعال، حيث يتحمل درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية ويوفر عمر خدمة أطول. اتصل بـ Semicera’ s طلاء TaC لاستكشاف المزيد حول حلولنا المتقدمة.
بعد سنوات من التطوير، تمكنت شركة Semicera من غزو تكنولوجيا CVD TaC من خلال الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد استخدام TaC، يكون الفرق كبيرًا. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
علاوة على ذلك، تتميز منتجات Semicera المطلية بـ TaC بعمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بالمنتجات الأخرى. طلاءات كربيد السيليكون. أثبتت القياسات المعملية أن طلاءات TaC الخاصة بنا يمكن أن تعمل باستمرار عند درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
