الجرافيت مادة ممتازة تتحمل درجات الحرارة العالية، لكنه يتأكسد بسهولة عند درجات الحرارة المرتفعة. حتى في أفران التفريغ التي تحتوي على غاز خامل، فإنه لا يزال من الممكن أن يخضع للأكسدة البطيئة. يمكن أن يؤدي استخدام طلاء كربيد التنتالوم (TaC) CVD إلى حماية ركيزة الجرافيت بشكل فعال، مما يوفر نفس المقاومة لدرجات الحرارة العالية مثل الجرافيت. TaC هو أيضًا مادة خاملة، مما يعني أنه لن يتفاعل مع الغازات مثل الأرجون أو الهيدروجين عند درجات حرارة عالية.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، تمكنت شركة Semicera من غزو تكنولوجيا CVD TaC من خلال الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد استخدام TaC، يكون الفرق كبيرًا. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
علاوة على ذلك، تتميز منتجات Semicera المطلية بـ TaC بعمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بالمنتجات الأخرى. الطلاءات كربيد السيليكون. أثبتت القياسات المعملية أن طلاءات TaC الخاصة بنا يمكن أن تعمل باستمرار عند درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
