تم تصميم لوحة دعم المستقبِل المطلية بكربيد التنتالوم من Semicera للاستخدام في تنضيد كربيد السيليكون ونمو البلورات. فهو يوفر دعمًا مستقرًا في البيئات ذات درجات الحرارة العالية أو المسببة للتآكل أو الضغط العالي، وهو أمر ضروري لهذه العمليات المتقدمة. يُستخدم بشكل شائع في مفاعلات الضغط العالي، وهياكل الأفران، والمعدات الكيميائية، فهو يضمن أداء النظام واستقراره. تضمن تقنية الطلاء المبتكرة من Semicera الجودة العالية والموثوقية للتطبيقات الهندسية الصعبة.
لوحة دعم المستقبِل المطلية بكربيد التنتالوم عبارة عن هيكل مستقبِل أو داعم مغطى بطبقة رقيقة من كربيد التنتالوم. يمكن تشكيل هذا الطلاء على سطح المستقبِل من خلال تقنيات مثل الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، مما يمنح المستقبِل الخصائص المتفوقة لكربيد التنتالوم.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، تمكنت شركة Semicera من غزو تكنولوجيا CVD TaC من خلال الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد استخدام TaC، يكون الفرق كبيرًا. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
تشمل السمات الرئيسية لألواح دعم القاعدة المطلية بكربيد التنتالوم:
1. ثبات درجة الحرارة العالية: يتمتع كربيد التنتالوم بثبات ممتاز في درجة الحرارة العالية، مما يجعل لوحة دعم القاعدة المطلية مناسبة لاحتياجات الدعم في بيئات العمل ذات درجة الحرارة العالية.
2. مقاومة التآكل: يتميز طلاء كربيد التنتالوم بمقاومة جيدة للتآكل، ويمكنه مقاومة التآكل الكيميائي والأكسدة، وإطالة عمر خدمة القاعدة.
3. صلابة عالية ومقاومة التآكل: الصلابة العالية لطلاء كربيد التنتالوم تمنح لوحة الدعم الأساسية مقاومة جيدة للتآكل، وهي مناسبة للمناسبات التي تتطلب مقاومة عالية للتآكل.
4. الاستقرار الكيميائي: يتمتع كربيد التنتالوم بثبات عالي لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية، مما يجعل لوحة دعم القاعدة المطلية تعمل بشكل جيد في بعض البيئات المسببة للتآكل.
علاوة على ذلك، تتميز منتجات Semicera المطلية بـ TaC بعمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بالمنتجات الأخرى. طلاءات كربيد السيليكون. أثبتت القياسات المعملية أن طلاءات TaC الخاصة بنا يمكن أن تعمل باستمرار عند درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
