يعد القرص الكوكبي من كربيد التنتالوم من Semicera مكونًا مهمًا في أفران الفوقية لأشباه الموصلات وهو معروف بمقاومته الاستثنائية للتآكل والصلابة العالية والثبات الحراري. يستخدم هذا القرص على نطاق واسع في الأدوات الدقيقة والفضاء وتصنيع أشباه الموصلات، ويضمن أداءً فائقًا ومتانة. تضمن أشباه الموصلات Semicera أعلى مستويات الجودة والموثوقية في أنظمة النقل الميكانيكية عالية الدقة.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera لطلاءات كربيد التنتالوم (TaC) تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC المطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
مبدأ العمل للقرص الكوكبي من كربيد التنتالوم مشابه لمبدأ ناقل الحركة الكوكبي، حيث يعمل القرص الكوكبي كعنصر قيادة وسيط ويحقق نقل الطاقة والتحكم في الحركة عن طريق التشابك مع التروس الداخلية والخارجية. يحتوي القرص الكوكبي عادةً على أخاديد مسننة متعددة تتشابك مع التروس الداخلية والخارجية لتحقيق نقل سلس وعزم دوران عالي.
خصائص قرص الكواكب كربيد التنتالوم هي كما يلي:
1. مقاومة التآكل: تتميز مادة كربيد التنتالوم بصلابة عالية للغاية ومقاومة للتآكل، ويمكن أن تحافظ على متانة جيدة في ظل الأحمال العالية وظروف الحركة عالية السرعة، وتقلل من فقدان التآكل والاحتكاك.
2. ثبات درجة الحرارة العالية: يتمتع كربيد التنتالوم بثبات ممتاز في درجة الحرارة العالية ويمكن أن يعمل لفترة طويلة في بيئة ذات درجة حرارة عالية دون ضرر، وهو مناسب لعمليات وتطبيقات درجات الحرارة المرتفعة.
3. معامل احتكاك منخفض: يتمتع سطح كربيد التنتالوم بمعامل احتكاك منخفض، مما يقلل من فقدان الطاقة وتوليد الحرارة أثناء النقل ويحسن كفاءة النقل.
4. دقة وثبات عاليان: يتم تصنيع أقراص الكواكب من كربيد التنتالوم بحرفية دقيقة ودقة عالية وثبات، ويمكن أن تحقق نقلًا دقيقًا والتحكم في الموضع.
علاوة على ذلك، تتميز منتجات Semicera المطلية بـ TaC بعمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بالمنتجات الأخرى. الطلاءات كربيد السيليكون. أثبتت القياسات المعملية أن طلاءات TaC الخاصة بنا يمكن أن تعمل باستمرار عند درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
