With the advent of 8-inch silicon carbide (SiC) wafers, the requirements for various semiconductor processes have become increasingly stringent, especially for epitaxy processes where temperatures can exceed 2000 degrees Celsius. Traditional susceptor materials, such as graphite coated with silicon carbide, tend to sublimate at these high temperatures, disrupting the epitaxy process. However, CVD tantalum carbide (TaC) effectively addresses this issue, withstanding temperatures up to 2300 degrees Celsius and offering a longer service life. Contact Semicera’sTantalum Carbide TaC CVD Coating Wafer Susceptorto explore more about our advanced solutions.
يوفر Semicera الطلاءات المتخصصة في Tantalum Carbide (TAC) لمختلف المكونات والناقلات. تتيح عملية الطلاء الرائدة في Semicera الطلاء Tantalum Carbide (TAC) لتحقيق نقاء مرتفع ، واستقرار ارتفاع درجات الحرارة والتسامح الكيميائي العالي ، وتحسين جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI ( غلاك تاك المغلفة بالجرافيت) ، وتوسيع عمر مكونات المفاعل الرئيسية. يتمثل استخدام طلاء Tantalum Carbide TAC في حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورة ، وقد حلت Semicera اختراق تقنية طلاء كربيد Tantalum (CVD) ، حيث وصلت إلى المستوى المتقدم الدولي.
With the advent of 8-inch silicon carbide (SiC) wafers, the requirements for various semiconductor processes have become increasingly stringent, especially for epitaxy processes where temperatures can exceed 2000 degrees Celsius. Traditional susceptor materials, such as graphite coated with silicon carbide, tend to sublimate at these high temperatures, disrupting the epitaxy process. However, CVD tantalum carbide (TaC) effectively addresses this issue, withstanding temperatures up to 2300 degrees Celsius and offering a longer service life. Contact Semicera’s Tantalum carbide TAC CVD Coating Wefer to explore more about our advanced solutions.
بعد سنوات من التنمية ، غزت Semicera تكنولوجيا CVD تاك مع الجهود المشتركة من قسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SIC ، ولكن بعد الاستخدام تاك, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
علاوة على ذلك ، Semicera's المنتجات المغلفة TAC إظهار عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر درجات الحرارة مقارنة بـ الطلاء كذا. لقد أظهرت قياسات المختبر أن الطلاء TAC يمكن أن تؤدي باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. فيما يلي بعض الأمثلة على عيناتنا:
