Wafer Carriers– Secure and efficient wafer handling solutions by Semicera, designed to protect and transport semiconductor wafers with utmost precision and reliability in advanced manufacturing environments.
Semicera presents the industry-leading Wafer Carriers, engineered to provide superior protection and seamless transportation of delicate semiconductor wafers across various stages of the manufacturing process. Our Wafer Carriers are meticulously designed to meet the stringent demands of modern semiconductor fabrication, ensuring the integrity and quality of your wafers are maintained at all times.
الميزات الرئيسية:
• Premium Material Construction: Crafted from high-quality, contamination-resistant materials that guarantee durability and longevity, making them ideal for cleanroom environments.
• Precision Design: Features precise slot alignment and secure holding mechanisms to prevent wafer slippage and damage during handling and transportation.
• Versatile Compatibility: Accommodates a wide range of wafer sizes and thicknesses, providing flexibility for various semiconductor applications.
• Ergonomic Handling: Lightweight and user-friendly design facilitates easy loading and unloading, enhancing operational efficiency and reducing handling time.
• Customizable Options: Offers customization to meet specific requirements, including material choice, size adjustments, and labeling for optimized workflow integration.
Enhance your semiconductor manufacturing process with Semicera’s Wafer Carriers, the perfect solution for safeguarding your wafers against contamination and mechanical damage. Trust in our commitment to quality and innovation to deliver products that not only meet but exceed industry standards, ensuring your operations run smoothly and efficiently.
أغراض |
إنتاج |
بحث |
دمية |
المعلمات البلورية |
|||
polytype |
4H |
||
خطأ في اتجاه السطح |
4±0.15° |
||
المعلمات الكهربائية |
|||
Dopant |
نيتروجين من النوع |
||
المقاومة |
0.015-0.025OHM · سم |
||
المعلمات الميكانيكية |
|||
قطر |
150.0 ± 0.2mm |
||
سماكة |
350 ± 25 ميكرون |
||
الاتجاه المسطح الأولي |
[1-100]±5° |
||
طول مسطح أساسي |
47.5 ± 1.5mm |
||
شقة ثانوية |
لا أحد |
||
TTV |
≤5 ميكرون |
≤10 ميكرون |
≤15 ميكرون |
LTV |
≤3 ميكرون (5 ملم*5 ملم) |
≤5 ميكرون (5 ملم*5 ملم) |
≤10 ميكرون (5 ملم*5 ملم) |
قَوس |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
الاعوجاج |
≤35 ميكرون |
≤45 ميكرون |
≤55 ميكرون |
الخشونة الأمامية (si-face) (AFM) |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
بناء |
|||
كثافة micropipe |
<1 EA/CM2 |
<10 EA/CM2 |
<15 EA/CM2 |
الشوائب المعدنية |
≤5E10atoms/cm2 |
نا |
|
BPD |
≤1500 EA/CM2 |
≤3000 EA/CM2 |
نا |
TSD |
≤500 EA/CM2 |
≤1000 EA/CM2 |
نا |
الجودة الأمامية |
|||
أمام |
سي |
||
الانتهاء من السطح |
Si-Face CMP |
||
الجزيئات |
≤60A/WEFR (SIZE 30.3μM) |
نا |
|
الخدوش |
≤5ea/مم. الطول التراكمي ≤Diameter |
الطول التراكمي ≤2*القطر |
نا |
قشر البرتقال/الحفر/البقع/الدماغ/الشقوق/التلوث |
لا أحد |
نا |
|
رقائق الحافة/المسافات البادئة/الكسر/الألواح السداسية |
لا أحد |
||
المناطق polytype |
لا أحد |
منطقة تراكمية 20% |
التراكمية منطقة ≤30% |
وضع علامة ليزر الأمامية |
لا أحد |
||
جودة الظهر |
|||
الانتهاء من الظهر |
C-Face CMP |
||
الخدوش |
≤5EA/MM ، الطول التراكمي ≤2*القطر |
نا |
|
عيوب الظهر (رقائق الحافة/المسافات البادئة) |
لا أحد |
||
خشونة الظهر |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
عودة ليزر العلامات |
1 مم (من الحافة العليا) |
||
حافة |
|||
حافة |
شامفر |
||
التغليف |
|||
التغليف |
جاهز لـ EPI مع تغليف فراغ عبوات الكاسيت متعددة الفرس |
||
*الملاحظات : "NA" تعني عدم وجود عناصر طلب لم يتم ذكرها قد تشير إلى Semi. |