إن الألواح العلوية الخزفية لآلة التحميل والتفريغ من الزركونيا هي منصات هيكلية عالية الدقة تستخدم في أنظمة تحميل وتفريغ رقائق أشباه الموصلات. مصنوعة من زركونيا 3Y-PSZ (ZrO₂)، فهي توفر قوة ميكانيكية ممتازة، وصلابة عالية للكسر، ومقاومة فائقة للتآكل. تضمن هذه الألواح العلوية الخزفية دعمًا ثابتًا للرقاقة أو FOUP، ودقة عالية في تحديد المواقع، وتوليد جزيئات منخفضة، مما يجعلها مثالية لمعدات التشغيل الآلي في غرف الأبحاث.
الزركونيا عبارة عن مادة سيراميكية عالية الأداء تتمتع بقوة ميكانيكية ممتازة وصلابة عالية للكسر في درجة حرارة الغرفة. تم تثبيت زركونيا Semicera (ZrO₂) باستخدام 3 مول% يتريا (3Y-PSZ) ، والذي يوفر بنية مجهرية دقيقة وموحدة مناسبة للتصنيع عالي الدقة.
نظرًا لصغر حجم الحبوب وبنية الطور المستقرة، يمكن معالجة الزركونيا 3Y-PSZ إلى مكونات معقدة وعالية الدقة. يتم استخدامه على نطاق واسع في الأجزاء الميكانيكية الدقيقة والأدوات الصناعية والتطبيقات الهندسية المتطورة.
توفر الزركونيا أيضًا مقاومة ممتازة للتآكل ومقاومة الصدمات، مما يجعلها مناسبة لظروف التشغيل الصعبة. صلابته العالية تسمح له بالحفاظ على الاستقرار الهيكلي تحت الضغط الميكانيكي، ويستخدم بشكل شائع في المكونات الدقيقة، وأنظمة القطع الصناعية، والأجزاء المقاومة للتآكل.
بالإضافة إلى ذلك، يتم تطبيق الزركونيا على نطاق واسع في القوالب الدقيقة، ومكونات الموصل البصري، ووسائط التكسير، وغيرها من المجالات الصناعية التي تتطلب موثوقية عالية وعمر خدمة طويل.
