Tantalum Carbide Coating Graphite Plate

The Tantalum Carbide Coating Graphite Plate by Semicera is engineered for high-performance applications in silicon carbide epitaxy and crystal growth. This plate offers exceptional stability in high-temperature, corrosive, and high-pressure environments. Ideal for use in advanced reactors and furnace structures, it enhances system performance and longevity. Semicera ensures superior quality and reliability with cutting-edge coating technology for demanding engineering needs.

Tantalum carbide coated graphite sheet is a graphite material with a thin layer of Tantal Carbid on the surface of the substrate. The thin layer of tantalum carbide is usually formed on the surface of the graphite substrate by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD). This coating has excellent properties such as high hardness, excellent wear resistance, corrosion resistance and high temperature stability.

 

Semicera bietet spezielle Tantal -Carbid -Beschichtungen (TAC) für verschiedene Komponenten und Träger. Das führende Beschichtungsprozess von Semizera ermöglicht Tantal -Carbid (TAC) -Hellbeschichtungen, um eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erzielen, die Produktqualität von SIC/GaN -Kristallen und EPI -Schichten zu verbessern (SchichtenGraphitbeschichtete TAC -Suszeptor) und die Lebensdauer von Schlüsselreaktorkomponenten verlängern. Die Verwendung von Tantal -Carbid -TAC -Beschichtung besteht darin, das Edgeproblem zu lösen und die Qualität des Kristallwachstums zu verbessern. Semizera hat den Durchbruch die Tantal -Carbidbeschichtungstechnologie (CVD) durch einen Durchbruch und erreicht das internationale Fortgeschrittenen.

 

After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.

The main advantages of tantalum carbide coated graphite sheet include:

1. High temperature resistance: Tantalum carbide has a high melting point and excellent high temperature stability, making the coated graphite sheet suitable for use in high temperature environments.

2. Corrosion resistance: Tantalum carbide coating can resist the erosion of many chemical corrosive substances and extend the service life of the material.

3. High hardness: The high hardness of the tantalum carbide thin layer provides good wear resistance and is suitable for applications requiring high wear resistance.

4. Chemical stability: Tantalum carbide coating has excellent stability to chemical corrosion and is suitable for use in some corrosive media.

 

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mit und ohne TAC

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Nach Verwendung von TAC (rechts)

Außerdem, Semicera TAC-beschichtete Produkte zeigen eine längere Lebensdauer und einen größeren Widerstand mit hohem Temperatur im Vergleich zu SiC -Beschichtungen. Labormessungen haben gezeigt, dass unsere TAC -Beschichtungen kann bei Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius für längere Perioden konsequent funktionieren. Im Folgenden finden Sie einige Beispiele für unsere Proben:

 

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SEMICERA -Arbeitsplatz

Semizelle Arbeitsplatz 2

Ausrüstungsmaschine

Semizera Ware House

CNN -Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD -Beschichtung

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