Customisierter tantaler Carbid -Ring

The Customized Tantalum Carbide Coated Ring by Semicera is specifically designed for epitaxy equipment, offering superior wear resistance and stability at temperatures up to 2300°C. This high-performance component from Semicera ensures durability and precision, making it ideal for demanding semiconductor manufacturing processes.

Semicera bietet spezielle Tantal -Carbid -Beschichtungen (TAC) für verschiedene Komponenten und Träger. Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.

 

Customisierte, mit Tantal -Carbid beschichtete Ringe sind Ringprodukte, die einzeln entworfen und gemäß der Tantal Carbid Coating -Technologie auf der Grundlage der spezifischen Bedürfnisse und Anwendungsanforderungen der Kunden ausgelegt und hergestellt werden. 

Das Folgende ist eine allgemeine Beschreibung von maßgeschneiderten, mit Tantal Carbid beschichteten Ringen:

1. Materialauswahl: Gemäß den Kundenbedürfnissen werden hohe purity-tantale Materialien als Substrat ausgewählt, um die Qualität und Leistung des Produkts zu gewährleisten.
2. Größe und Form: Gemäß den Anforderungen oder Entwurfszeichnungen des Kunden werden die Größe, der Durchmesser, die Dicke und die Form des mit Tantal Carbid beschichteten Ringes so angepasst, dass sich an bestimmte Anwendungsszenarien und Geräteanforderungen angepasst werden.
3.. Tantal-Carbidbeschichtungsprozess: Die Oberfläche des Tantal-Rings wird unter Verwendung eines professionellen Tantal-Carbidbeschichtungsprozesses behandelt, um eine gleichmäßige, dichte und gut klebende, tantalische Carbidbeschichtung zu bilden.
4. Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit: Durch Optimierung des Beschichtungsprozesses und der Parameter stellen Sie sicher, dass der mit Tantal Carbid beschichtete Ring einen hervorragenden Verschleißwiderstand und Korrosionsbeständigkeit aufweist, um die Anforderungen bestimmter Umgebungen zu erfüllen.
5. Versiegelungsleistung: Gemäß den Versiegelungsanforderungen des Kunden wird die Versiegelungsstruktur des mit Tantal Carbid beschichteten Ringes ausgelegt und hergestellt, um eine effektive Versiegelungsleistung zu gewährleisten und Gas- oder Flüssigkeitsleckage zu verhindern.
6. Qualitätskontrolle: Während des Anpassungsprozesses werden strenge Qualitätskontrolle und Tests durchgeführt, um die Konsistenz, Zuverlässigkeit und Einhaltung der Produkte zu gewährleisten.

 

Hocheffizientes Tantal -Carbidbeschichtung mit hoher Effizienz Verbesserung der industriellen Produktionseffizienz und Reduzierung der Wartungskosten enthielt Bild

TAC -Teil für das Wachstum einer Kristall

Antiwear Tantalharbidbeschichtung_ schützt die Ausrüstung vor Verschleiß und Korrosion im Bild

Graphit mit TAC -beschichtetem Ring

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mit und ohne TAC

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Nach Verwendung von TAC (rechts)

Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:

 

3

TAC -beschichteter Suszeptor

4

Graphit mit TAC -beschichtetem Reaktor

0(1)

SEMICERA -Arbeitsplatz

Semizelle Arbeitsplatz 2

Ausrüstungsmaschine

Semizera Ware House

CNN -Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD -Beschichtung

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