The High Purity Tantalum Carbon Coated Ring from Semicera is essential for epitaxy equipment, withstanding temperatures up to 2300°C. Its exceptional thermal stability and high purity ensure reliable performance in demanding semiconductor manufacturing processes. Semicera’s advanced coating technology guarantees superior durability and efficiency in high-temperature environments.
Semicera bietet spezielle Tantal -Carbid -Beschichtungen (TAC) für verschiedene Komponenten und Träger. Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.
Hochpüren, mit Tantal-Kohlenstoffbeschichtete Ringe werden in speziellen Geräten und Systemen in der Luft- und Raumfahrt, chemischen, Halbleiterherstellung und anderen Feldern häufig eingesetzt. Sie werden normalerweise zum Versiegeln und Getriebe in hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen verwendet, wodurch eine zuverlässige Leistung und eine lange Lebensdauer gewährleistet ist, um einen stabilen Betrieb von Geräten und Produktqualität zu gewährleisten.
Die Eigenschaften der kohlenstoffbeschichteten hochpurigen Tantal-Ringe sind wie folgt:
1. Hochtemperaturstabilität: Tantal-Kohlenstoffringe mit hoher Purity können die strukturelle Stabilität in Hochtemperaturumgebungen aufrechterhalten und einen hervorragenden Hochtemperaturwiderstand aufweisen, der für Anwendungen geeignet ist, die hohe Temperaturbedingungen standhalten.
2. Korrosionsbeständigkeit: Tantal -Material selbst hat eine gute Korrosionsbeständigkeit, und die auf der Oberfläche gebildete Tantal -Carbidbeschichtung verbessert die Korrosionsbeständigkeit weiter und kann der Erosion einer Vielzahl von Chemikalien und Lösungsmitteln widerstehen.
3. Verschleißfestigkeit: Tantal Carbid -Beschichtung hat eine hohe Härte und Verschleißfestigkeit, kann eine gute Leistung in Bezug auf Reibung und Verschleiß aufrechterhalten und die Lebensdauer verlängern.
4. Ausgezeichnete Versiegelungsleistung: Tantal-Kohlenstoffringe mit hoher Purity haben eine gute Versiegelungsleistung, können effektiv Gas- oder Flüssigkeitsleckage verhindern und für Anwendungsszenarien mit hohen Versiegelungsanforderungen geeignet sind.
Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:
