Antioxidation mit hoher Reinheit mit sic beschichteten MOCVD-Tablett

Semicera Energy Technology Co., Ltd. ist ein führender Lieferant, der sich auf Wafer- und fortschrittliche Halbleiterverbrauchsgüter spezialisiert hat. Wir sind bestrebt, hochwertigen, zuverlässigen und innovativen Produkten für die Herstellung von Halbleiter und die Photovoltaik-Industrie und andere verwandte Felder bereitzustellen.

Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.

As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Beschreibung

 

 

 

 

 

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming a SiC protective layer.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Hauptmerkmale

 

 

 

 

 

1. High temperature oxidation resistance:
the oxidation resistance is still very good when the temperature is as high as 1600 C.
2. High purity: made by chemical vapor deposition under high temperature chlorination condition.
3. Erosion resistance: high hardness, compact surface, fine particles.
4. Corrosion resistance: acid, alkali, salt and organic reagents.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Main Specifications of CVD-SIC Coating

 

 

 

 

 

SIC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur FCC β phase
Dichte g/cm ³ 3.21
Härte Vickers Härte 2500
Körnung μm 2~10
Chemische Reinheit % 99.99995
Wärmekapazität J·kg-1 ·K-1 640
Sublimationstemperatur 2700
Felexurale Stärke MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus GPA (4PT Bend, 1300 ℃) 430
Wärmeausdehnung (CTE) 10-6K-1 4.5
Wärmeleitfähigkeit (W/mk) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

MOCVD EPITAXIAL PARTS

 

 

 

 

 

MOCVD disk

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 Equipment

 

 

 

 

 

about

 

 

 

 

 

 

 

 

 

SEMICERA -Arbeitsplatz

 

 

 

Semizelle Arbeitsplatz 2

 

 

 

Ausrüstungsmaschine

 

 

 

CNN -Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD -Beschichtung

 

 

 

Semizera Ware House

 

 

 

Unser Service

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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