Hochwertiger Tantal -Carbid (TAC) -Beschicht

Semicera’s TaC coating offers exceptional high-temperature stability, surpassing SiC, withstanding up to 2300℃. Ideal for aerospace and third-generation semiconductor single crystal growth, it provides corrosion, oxidation, and wear resistance. Choose Semicera for top-tier factory manufacturing and quality.

Semicera bietet spezielle Tantal -Carbid -Beschichtungen (TAC) für verschiedene Komponenten und Träger. Das führende Beschichtungsprozess von Semizera ermöglicht Tantal -Carbid (TAC) -Hellbeschichtungen, um eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erzielen, die Produktqualität von SIC/GaN -Kristallen und EPI -Schichten zu verbessern (SchichtenGraphitbeschichtete TAC -Suszeptor) und die Lebensdauer von Schlüsselreaktorkomponenten verlängern. Die Verwendung von Tantal -Carbid -TAC -Beschichtung besteht darin, das Edgeproblem zu lösen und die Qualität des Kristallwachstums zu verbessern. Semizera hat den Durchbruch die Tantal -Carbidbeschichtungstechnologie (CVD) durch einen Durchbruch und erreicht das internationale Fortgeschrittenen.

 

After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Semicera’ parts for single crystal growth 

 

b917b6b4-7572-47fe-9074-24d33288257c

WeChat Picture_20240227150045

mit und ohne TAC

WeChat Picture_20240227150053

Nach Verwendung von TAC (rechts)

In addition, the service life of Semicera’s TaC coating products is longer and more resistant to high temperature than that of SiC coating. After a long time of laboratory measurement data, our TaC can work for a long time at a maximum of 2300 degrees Celsius. The following are some of our samples:

微信截图_20240227145010

(a) Schematic diagram of SiC single crystal ingot growing device by PVT method (b) Top TaC coated seed bracket (including SiC seed) (c) TAC-coated graphite guide ring

ZDFVzCFV

Main feature

SEMICERA -Arbeitsplatz

Semizelle Arbeitsplatz 2

Ausrüstungsmaschine

CNN -Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD -Beschichtung

Unser Service

Newletter

Ich freue mich auf Ihren Kontakt mit uns