TAC Coated Graphit Guide Ring

Semicera Semiconductor’s TaC Coated Graphite Guide Ring is engineered for silicon carbide crystal growth, providing exceptional wear resistance and thermal stability. Choose Semicera for reliable and high-performance components.

TaC coated graphite guide rings refer to the deposition of a thin layer of Tantal Carbid on the surface of a graphite guide ring to improve its wear resistance, high temperature resistance and chemical stability. This coating is usually formed on the surface of a graphite guide ring by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD).

 

Semicera bietet spezielle Tantal -Carbid -Beschichtungen (TAC) für verschiedene Komponenten und Träger. Das führende Beschichtungsprozess von Semizera ermöglicht Tantal -Carbid (TAC) -Hellbeschichtungen, um eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erzielen, die Produktqualität von SIC/GaN -Kristallen und EPI -Schichten zu verbessern (SchichtenGraphitbeschichtete TAC -Suszeptor) und die Lebensdauer von Schlüsselreaktorkomponenten verlängern. Die Verwendung von Tantal -Carbid -TAC -Beschichtung besteht darin, das Edgeproblem zu lösen und die Qualität des Kristallwachstums zu verbessern. Semizera hat den Durchbruch die Tantal -Carbidbeschichtungstechnologie (CVD) durch einen Durchbruch und erreicht das internationale Fortgeschrittenen.

 

After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.

The main features of TaC coated graphite guide rings include:

1. High temperature resistance: TaC coating has excellent high temperature stability and can maintain stability in high temperature environments.

2. Wear resistance: The high hardness of the tantalum carbide thin layer gives the guide ring good wear resistance and extends its service life.

3. Chemical stability: TaC coating has high stability against chemical corrosion, making it suitable for applications in some corrosive media.

4. Reduce friction: TaC coating can effectively reduce the friction between the graphite guide ring and other components and improve the efficiency of mechanical seals.

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mit und ohne TAC

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Nach Verwendung von TAC (rechts)

Außerdem, Semicera TAC-beschichtete Produkte zeigen eine längere Lebensdauer und einen größeren Widerstand mit hohem Temperatur im Vergleich zu SiC -Beschichtungen. Labormessungen haben gezeigt, dass unsere TAC -Beschichtungen kann bei Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius für längere Perioden konsequent funktionieren. Im Folgenden finden Sie einige Beispiele für unsere Proben:

 

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Semizelle Arbeitsplatz 2

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Semizera Ware House

CNN -Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD -Beschichtung

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