Anwendung des RTP-Trägerverfahrens in der Halbleiterherstellung
RTP-Trägerprozess steigert die Halbleiterfertigung, indem es eine gleichmäßige Erwärmung, eine Verringerung der Verunreinigungen und eine Verbesserung der Waferqualität und Produktionsgeschwindigkeit gewährleistet.