High-Temperature SiC Coating Graphite Wafer Susceptor for MOCVD Epitaxial Growth

Aplicaciones de productos

1. Fabricación de semiconductores

   • Ideal para la deposición epitaxial de los semiconductores GaN, SiC y III-V.

   • Crítico para producir LEDs de alto rendimiento, dispositivos RF y electrónica de potencia.

2. Research " Development

   • Confía en laboratorios para estudios de materiales avanzados y prototipado semiconductor de próxima generación.

3. Industrial MOCVD Sistemas

   • Compatible con el equipo líder de MOCVD para la producción masiva de componentes optoelectrónicos.

Key Advantages

1. Durabilidad inigualable

   • El recubrimiento SiC aumenta la resistencia al choque térmico, la corrosión química y el desgaste mecánico, ampliando la vida útil en 3x en comparación con los susceptores de grafito tradicionales.

2. Uniformidad térmica superior

   • Diseñado para la uniformidad de temperatura ±1.5% a través de la superficie de la ola, minimizando defectos en capas depositadas.

3. Estabilidad de alta temperatura

   • Funciona perfectamente a temperaturas de hasta 1.800°C, manteniendo la integridad estructural en entornos duros de MOCVD.

4. Eficiencia de los costos

   • Reduce los costes de inactividad y reemplazo gracias a la durabilidad prolongada y el rendimiento consistente.

Características del producto

1. Composición de material Premium

   • Combina grafito isostático de alta pureza con un recubrimiento SiC denso y sin defecto para una resistencia térmica y química óptima.

2. Diseños personalizable

   • Disponible en geometrías a medida (por ejemplo, tortitas, verticales, horizontales) para adaptarse a diversas configuraciones de reactores.

3. Precision Engineering

   • Acabado superficial ultra-smooth (traducido0.5 μm Ra) garantiza una mínima contaminación de partículas durante la deposición.

4. Respuesta térmica rápida

   • El bajo diseño de masa térmica acelera los ciclos de calefacción y refrigeración, potenciando la eficiencia del proceso.

¿Por qué elegir Semicera?

• Industry Expertise: Respaldado por 15 años de experiencia en soluciones cerámicas avanzadas para aplicaciones semiconductoras.

• Garantía de calidad: Las pruebas rígoras bajo protocolos certificados ISO garantizan la consistencia del rendimiento.

• Global Support: Equipo técnico dedicado disponible para soluciones personalizadas y entrega rápida.