Dans le processus de fabrication des IC semi-conducteurs, il est souvent nécessaire d'utiliser un outil pour le transfert, le nettoyage et le traitement des puces, l'outil qui transporte la puce est généralement appelé bateau à plaquette, qui sera fourni avec un certain nombre de machines à sous, chaque fente de plaquette est utilisée pour placer une plaquette. Dans le processus de fabrication des tranches de semi-conducteurs, le processus de diffusion du tube de la fournaise est l'un des processus de base. Dans le processus de diffusion, plusieurs plaquettes-plaquettes sont d'abord placées sur un bateau en cristal de quartz, puis le bateau en cristal de quartz est placé dans le tube de la fournaise pour la fabrication par lots.
