Customized SiC Ceramic effector for semiconductor equipment

Weitai Energy Technology Co., Ltd. est un fournisseur de premier plan spécialisé dans les consommables de plaquettes et de semi-conducteurs avancés. Oxyde d'aluminium et etc. En tant que fournisseur de confiance, nous comprenons l'importance des consommables dans le processus de fabrication, et nous nous engageons à fournir des produits qui répondent aux normes de qualité les plus élevées pour répondre aux besoins de nos clients.

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Caractéristiques et avantages

1. Prociser les dimensions et la stabilité thermique

2. Raideur spécifique élevée et excellente uniformité thermique, l'utilisation à long terme n'est pas facile à plier la déformation;

3. Il a une surface lisse et une bonne résistance à l'usure, manipulant ainsi en toute sécurité la puce sans contamination par les particules.

4. Resistivité en carbure de Silicon dans 106-108Ω, non magnétique, en ligne avec les exigences de spécification anti-ESD; Il peut empêcher l'accumulation d'électricité statique à la surface de la puce

5. Bonne conductivité thermique, coefficient d'extension faible.

Effecteur du bras du robot

Effecteur final SIC

Comparaison des matériaux en céramique SIC

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