Suscepteur de graphite de revêtement en SiC à haute température pour la croissance épitaxiale MOCVD

Applications de produits

1. Semiconductor Manufacturing

   • Idéal pour le dépôt épitaxique de semi-conducteurs composés GaN, SiC et III-V.

   • Critique pour produire des LED haute performance, des appareils RF et de l'électronique de puissance.

2. Recherche et développement

   • Confié par les laboratoires pour les études de matériaux avancés et le prototypage des semi-conducteurs de prochaine génération.

3. MOCVD industriel Systèmes

   • Compatible avec les principaux équipements MOCVD pour la production de masse de composants optoélectroniques.

Principaux avantages

1. Durabilité inégalée

   • Le revêtement SiC améliore la résistance aux chocs thermiques, à la corrosion chimique et à l'usure mécanique, prolongeant la durée de vie de 3x par rapport aux capteurs traditionnels de graphite.

2. Homogénéité thermique supérieure

   • Conçu pour l'uniformité de température ±1.5% sur toute la surface du wafer, minimisant les défauts dans les couches déposées.

3. Stabilité à haute température

   • Fonctionne parfaitement à des températures allant jusqu'à 1 800 °C, en maintenant l'intégrité structurale dans des environnements MOCVD difficiles.

4. Rentabilité

   • Réduit les temps d'arrêt et les coûts de remplacement grâce à une durabilité prolongée et une performance constante.

Caractéristiques du produit

1. Composition des matériaux premium

   • Combine le graphite isostatique à haute pureté avec un revêtement en SiC dense et exempt de défauts pour une résistance thermique et chimique optimale.

2. Conceptions personnalisables

   • Disponible en géométries sur mesure (p. ex. crêpe, verticale, horizontale) pour s'adapter à diverses configurations de réacteurs.

3. Precision Engineering

   • Le fini de surface ultra-smooth (<0,5 μm Ra) assure une contamination minimale des particules pendant le dépôt.

4. Réponse thermique rapide

   • La conception à faible masse thermique accélère les cycles de chauffage et de refroidissement, ce qui augmente l'efficacité du processus.

Pourquoi choisir Semicera?

• Expertise de l'industrie: Adossé à plus de 15 ans d'expérience dans les solutions céramiques avancées pour les applications semi-conducteurs.

• Quality Assurance: Des essais rigoureux dans le cadre de protocoles certifiés ISO garantissent la cohérence des performances.

• Soutien mondial: Équipe technique dédiée disponible pour des solutions personnalisées et une livraison rapide.