Graphite Susceptor with Silicon Carbide Coating 6 pieces 6 inch wafer Carrier

Descrizione del prodotto

Nei processi ad alta temperatura (ad es. CVD, MOCVD, crescita epitassiale) nel semiconduttore, fotovoltaico e nuove industrie energetiche, la durata e la stabilità dei portatori di wafer hanno un impatto diretto sulla produttività e sui costi. I vettori di grafite con rivestimento in carburo di silicio da 6 pollici (confezione di 6) da semiconduttori a semicera sono specificamente progettati per ambienti di processo duri e offrono una soluzione ad alta temperatura, resistente alla corrosione e di lunga durata alla tua linea di produzione, con materiali e tecnologie all'avanguardia. Linea di produzione con materiali all'avanguardia e tecnologia di processo per fornire una soluzione ad alta temperatura, resistente alla corrosione e di lunga durata che aiuta a ridurre i tempi di inattività e migliorare la coerenza della capacità.

Vantaggi del core: perché scegliere i vettori di grafite rivestiti in carburo di silicio di Semicera?

1.Feratore per la vita più lunga
Tecnologia di rivestimento in carburo di silicio CVD: carburo di silicio ad alta purezza (SIC) è uniformemente rivestito sulla superficie, il che migliora significativamente la resistenza all'ossidazione ad alta temperatura (fino a 1600 ° C+) e alla corrosione chimica ed evita il substrato di grafite dal reagire con i gas di processo, riducendo il rischio di contaminazione di wafer.

Tasso di spargimento di particelle ultra-bassa: il processo di rivestimento di precisione garantisce una superficie liscia e densa, riduce i graffi del wafer e la contaminazione da particelle e garantisce la resa del processo.

2. Progettazione di produzione ad alta efficienza, riducendo i costi complessivi
Configurazione standardizzata a 6 pezzi: adattarsi alle linee di produzione di wafer da 6 pollici mainstream, elaborazione batch di supporto, accorciare il ciclo di processo e aumentare la capacità di produzione.

Eccellente corrispondenza del coefficiente di espansione termica: il substrato di grafite e il rivestimento in carburo di silicio sono altamente compatibili con le proprietà termiche, garantendo la stabilità strutturale ad alte temperature, riducendo la deformazione e il cracking ed estendendo la durata del servizio a più di 3 volte di quelli ordinari di grafite.

3. Assicurazione della qualità del processo fulll, consegna senza preoccupazioni
Standard di controllo di qualità rigorosi: dal substrato di grafite isostatico di alta purezza al processo di rivestimento, l'intero processo passa test SEM/EDS e soddisfa le specifiche del settore ASTM e dei semiconduttori.

Risposta rapida alla personalizzazione: supportare la regolazione delle dimensioni, dello spessore del rivestimento e di altri parametri per soddisfare le esigenze di processi speciali.

Parametri tecnici

• Materiale: mafite isostatico + rivestimento in carburo di silicio CVD
• Dimensione del wafer applicabile: 6 pollici
• Capacità di caricamento singolo: 6 wafer
• Temperatura di lavoro massima: 1600 ° C (ambiente di gas inerte)
• Spessore di rivestimento: 80-120μm (personalizzabile)
• Rugosità superficiale: RA ≤0,8μm

Scenari dell'applicazione: collegamenti di processo chiave di scorta

1. Produzione di semiconduttori: epitassia al silicio, deposizione GAN, produzione di dispositivi in ​​carburo di silicio
2. Campo fotovoltaico: rivestimento CVD per wafer a celle solari ad alta efficienza
3. Nuovi materiali energetici: sinterizzazione ad alta temperatura di materiali anodi al litio

Quattro motivi per scegliere il semiconduttore

✅ Profonda profonda nel settore per quasi un decennio: specializzato in R&D di componenti di base per semiconduttori dal 2015, al servizio di oltre 200 clienti in tutto il mondo, tra cui le aziende fotovoltarie di primo livello e semiconduttori.
✅ Innovazione guidata dalla tecnologia: abbiamo imparato la tecnologia principale del rivestimento in carburo di silicio CVD e abbiamo ricevuto la certificazione ISO 9001 e molti brevetti.
✅ Impegno di produzione sostenibile: adottare processi di produzione verde, ridurre il consumo di energia e le emissioni di rifiuti e praticare la responsabilità sociale.
✅ Supporto del servizio a ciclo completo: dalla selezione e dalla consultazione alla manutenzione post-vendita, il team professionale fornisce una risposta tecnica di 24 ore.
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Sia che tu stia costruendo una nuova linea di produzione o che sostituirà un vecchio vettore, i vettori di grafite rivestiti in carburo di silicio di Semicera saranno il tuo partner affidabile nel migliorare la tua competitività con un costo complessivo inferiore e una maggiore stabilità dei processi.

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