Semicera의 SIC 코팅 흑연 웨이퍼 감수기는 탁월한 열 안정성, 부식성 및 수명을 전달하도록 설계된 MOCVD (금속 유기 화학 증기 증착) 공정을위한 프리미엄 솔루션입니다. 고급 실리콘 카바이드 (SIC) 및 고급 흑연으로 제작 된이 감수자는 극한 환경에서 균일 한 열 분포와 신뢰할 수있는 성능을 보장하여 GAN, SIC 및 LED와 같은 반도체 재료의 완벽한 에피 택셜 성장을 가능하게합니다.
회사소개
반도체 제조
GaN, SiC 및 III-V 화합물 반도체의 축적 증착에 이상적입니다.
고성능 LED, RF 장치 및 전력 전자를 생산하는 데 중요한 역할을 합니다.
연구 및 개발
고급 재료 연구 및 차세대 반도체 프로토 타이핑 실험실에 의해 신뢰.
산업용 MOCVD 시스템
광전자 부품의 대량 생산을 위한 MOCVD 장비와 호환이 되는.
탁월한 내구성
SiC 코팅은 열충격, 화학 부식 및 기계적인 착용에 저항을 강화하고, 전통적인 흑연 susceptors와 비교된 3x에 의하여 서비스 기간을 확장합니다.
우수한 열 균등성
웨이퍼 표면에 걸쳐 ± 1.5% 온도 균일 성을 조작하여 증착 된 층의 결함을 최소화합니다.
높은 온도 안정성
최대 1,800 ° C의 온도에서 완벽하게 작동하여 가혹한 MOCVD 환경에서 구조적 무결성을 유지합니다.
Cost Efficiency
내구성과 일관성있는 성능을 향상시키기 위해 가동 시간과 교체 비용을 절감합니다.
우수한 물자 구성
최적의 열과 내화학성에 대한 밀도, 결함없는 SiC 코팅을 가진 고순도 정립 흑연을 결합합니다.
사용자 정의 디자인
다양한 원자로 구성에 맞게 맞춤화된 지오메트리(예: 팬케이크, 수직, 수평)에서 사용할 수 있습니다.
Precision Engineering
초대형 표면 마감 (<0.5 µm RA)은 증착 동안 최소 입자 오염을 보장합니다.
급속한 열 응답
낮은 열 질량 디자인은 난방/냉각 주기, 밀어주는 과정 효율성을 가속합니다.
기업 Expertise: 반도체 분야에 대한 첨단 세라믹 솔루션 분야에서 15년 이상의 경험을 바탕으로.
품질 보증: ISO 인증 프로토콜의 엄격한 테스트는 성능 일관성을 보장합니다.
글로벌 지원: 맞춤 솔루션 및 신속한 납품을 위해 사용할 수있는 전용 기술 팀.
Semicera Semiconductor integrates R&D and production with dual research centers and three production bases, supporting 50 production lines and 200+ employees.
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