De tantalum carbide gecoate susceptor ondersteuningsplaat door semicera is ontworpen voor gebruik in siliciumcarbide -epitaxie en kristalgroei. Het biedt stabiele ondersteuning in hoge temperatuur-, corrosieve of hogedrukomgevingen, essentieel voor deze geavanceerde processen. Vaak gebruikt in hogedrukreactoren, ovenstructuren en chemische apparatuur, zorgt voor systeemprestaties en stabiliteit. De innovatieve coatingtechnologie van Semicera garandeert een superieure kwaliteit en betrouwbaarheid voor veeleisende technische toepassingen.
Tantalum carbide gecoate susceptor ondersteuningsplaat is een susceptor of ondersteuningsstructuur die bedekt is met een dunne laag van tantalum carbide. Deze coating kan worden gevormd op het susceptoroppervlak door technieken zoals fysieke dampafzetting (PVD) of chemische dampafzetting (CVD), waardoor de susceptor de superieure eigenschappen van tantalum carbide.
Semicera biedt gespecialiseerde tantalum carbide (TAC) coatings voor verschillende componenten en dragers. Semicera toonaangevend coatingproces stelt tantalum carbide (TAC) coatings in staat om een hoge zuiverheid, stabiliteit met hoge temperatuur en hoge chemische tolerantie te bereiken, de productkwaliteit van SIC/GAN -kristallen en EPI -lagen te verbeteren ((Graphiet gecoate TAC Susceptor) en de levensduur van belangrijke reactorcomponenten verlengen. Het gebruik van tantalum carbide -taccoating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en semicera heeft doorbraak de tantalum carbide coatingtechnologie (CVD) opgelost, waardoor het internationale geavanceerde niveau wordt bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverd van CVD TAC met de gezamenlijke inspanningen van de R & D -afdeling. Defecten zijn gemakkelijk op te treden in het groeiproces van SIC -wafels, maar na het gebruik TAC, het verschil is significant. Hieronder is een vergelijking van wafels met en zonder TAC, evenals de onderdelen van Simicera voor enkele kristalgroei.
De belangrijkste kenmerken van tantalum carbide gecoate base supportplaten zijn inclusief:
1. Stabiliteit met hoge temperatuur: tantalumcarbide heeft een uitstekende stabiliteit van hoge temperatuur, waardoor de gecoate basisondersteuningsplaat geschikt is voor ondersteuningsbehoeften in werkomgevingen op hoge temperatuur.
2. Corrosieweerstand: Tantalum carbide -coating heeft een goede corrosieweerstand, kan weerstand bieden aan chemische corrosie en oxidatie en de levensduur van de basis verlengen.
3. Hoge hardheid en slijtvastheid: de hoge hardheid van tantalum carbide -coating geeft de basisondersteuningsplaat een goede slijtvastheid, wat geschikt is voor gelegenheden die een hoge slijtvastheid vereisen.
4. Chemische stabiliteit: Tantalum carbide heeft een hoge stabiliteit voor een verscheidenheid aan chemische stoffen, waardoor de gecoate basisondersteuningsplaat goed presteert in sommige corrosieve omgevingen.
Bovendien, Semicera's TAC-gecoate producten een langere levensduur en een grotere weerstand van hoge temperatuur vertonen in vergelijking met Sic coatings. Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onze TAC -coatings Kan consequent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius voor langere periodes. Hieronder staan enkele voorbeelden van onze monsters:
