The TaC Coated Epi Wafer Carrier by Semicera is engineered for superior performance in epitaxial processes. Its tantalum carbide coating offers exceptional durability and high-temperature stability, ensuring optimal wafer support and enhanced production efficiency. Semicera’s precision manufacturing guarantees consistent quality and reliability in semiconductor applications.
TaC coated epitaxial wafer carriers are usually used in the preparation of high-performance optoelectronic devices, power devices, sensors and other fields. This epitaxial wafer carrier refers to the deposition of TAC thin film on the substrate during the crystal growth process to form a wafer with specific structure and performance for subsequent device preparation.
Chemical vapor deposition (CVD) technology is usually used to prepare TaC coated epitaxial wafer carriers. By reacting metal organic precursors and carbon source gases at high temperature, a TaC film can be deposited on the surface of the crystal substrate. This film can have excellent electrical, optical and mechanical properties and is suitable for the preparation of various high-performance devices.
Semicera biedt gespecialiseerde tantalum carbide (TAC) coatings voor verschillende componenten en dragers. Semicera toonaangevend coatingproces stelt tantalum carbide (TAC) coatings in staat om een hoge zuiverheid, stabiliteit met hoge temperatuur en hoge chemische tolerantie te bereiken, de productkwaliteit van SIC/GAN -kristallen en EPI -lagen te verbeteren ((Graphiet gecoate TAC Susceptor) en de levensduur van belangrijke reactorcomponenten verlengen. Het gebruik van tantalum carbide -taccoating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en semicera heeft doorbraak de tantalum carbide coatingtechnologie (CVD) opgelost, waardoor het internationale geavanceerde niveau wordt bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverd van CVD TAC met de gezamenlijke inspanningen van de R & D -afdeling. Defecten zijn gemakkelijk op te treden in het groeiproces van SIC -wafels, maar na het gebruik TAC, het verschil is significant. Hieronder is een vergelijking van wafels met en zonder TAC, evenals de onderdelen van Simicera voor enkele kristalgroei.
Bovendien, Semicera's TAC-gecoate producten een langere levensduur en een grotere weerstand van hoge temperatuur vertonen in vergelijking met Sic coatings. Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onze TAC -coatings Kan consequent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius voor langere periodes. Hieronder staan enkele voorbeelden van onze monsters:
