TaC coating is a new generation of high temperature resistant material, with better high temperature stability than SiC, serving as a corrosion-resistant, oxidation-resistant, and wear-resistant coating, can be used in the environment above 2000℃, widely used in aerospace ultra-high temperature hot end parts, the third generation of semiconductor single crystal growth and other fields.
Semicera biedt gespecialiseerde tantalum carbide (TAC) coatings voor verschillende componenten en dragers. Semicera toonaangevend coatingproces stelt tantalum carbide (TAC) coatings in staat om een hoge zuiverheid, stabiliteit met hoge temperatuur en hoge chemische tolerantie te bereiken, de productkwaliteit van SIC/GAN -kristallen en EPI -lagen te verbeteren ((Graphiet gecoate TAC Susceptor) en de levensduur van belangrijke reactorcomponenten verlengen. Het gebruik van tantalum carbide -taccoating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en semicera heeft doorbraak de tantalum carbide coatingtechnologie (CVD) opgelost, waardoor het internationale geavanceerde niveau wordt bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverd van CVD TAC met de gezamenlijke inspanningen van de R & D -afdeling. Defecten zijn gemakkelijk op te treden in het groeiproces van SIC -wafels, maar na het gebruik TAC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Semicera’ parts for single crystal growth
In addition, the service life of Semicera’s TaC coating products is longer and more resistant to high temperature than that of SiC coating. After a long time of laboratory measurement data, our TaC can work for a long time at a maximum of 2300 degrees Celsius. The following are some of our samples:
