6 Inch N-type SiC Substrate

Semicera offers a wide range of 4H-8H SiC wafers. For many years, we have been a manufacturer and supplier of products to the semiconductor and photovoltaic industries. Our main products include: Silicon carbide etch plates, silicon carbide boat trailers, silicon carbide wafer boats (PV & Semiconductor), silicon carbide furnace tubes, silicon carbide cantilever paddles, silicon carbide chucks, silicon carbide beams, as well as CVD SiC coatings and TaC coatings. Covering most European and American markets. We look forward to being your long-term partner in China.

Silicon carbide (SiC) single crystal material has a large band gap width (~Si 3 times), high thermal conductivity (~Si 3.3 times or GaAs 10 times), high electron saturation migration rate (~Si 2.5 times), high breakdown electric field (~Si 10 times or GaAs 5 times) and other outstanding characteristics.

De halfgeleider -materialen van de derde generatie omvatten voornamelijk SIC, GAN, Diamond, enz., Omdat de bandafstandbreedte (bijv.) Groter is dan of gelijk is aan 2,3 elektronenvolt (EV), ook bekend als brede band gap semiconductor -materialen. Vergeleken met de eerste en tweede generatie halfgeleidermaterialen, hebben de halfgeleidermaterialen van de derde generatie de voordelen van een hoge thermische geleidbaarheid, elektrisch veld met hoge afbraak, hoge verzadigde elektronenmigratiesnelheid en hoge bindingsergie, die kunnen voldoen aan de nieuwe vereisten van moderne elektronische technologie voor hoge temperatuur, hoog vermogen, hoge druk, hoge frequentie en bestraling resistentie en andere HARSH -omstandigheden. Het heeft belangrijke toepassingsperspectieven op het gebied van nationale verdediging, luchtvaart, ruimtevaart, olie -exploratie, optische opslag, enz., En kan energieverlies verminderen met meer dan 50% in veel strategische industrieën zoals breedbandcommunicatie, zonne -energie, automobielproductie, halfgeleiderverlichting en smart grid en smart grid en smart grid en smart grid.

Semicera energy can provide customers with high-quality Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) silicon carbide substrate; In addition, we can provide customers with homogeneous and heterogeneous silicon carbide epitaxial sheets; We can also customize the epitaxial sheet according to the specific needs of customers, and there is no minimum order quantity.

 

 

 

 

 

 

Items

Productie

Onderzoek

Stom

Kristalparameters

Polytype

4H

Oppervlakte -oriëntatiefout

<11-20 >4±0.15°

Elektrische parameters

Dopant

n-type stikstof

Weerstand

0.015-0.025ohm·cm

Mechanische parameters

Diameter

150.0±0.2mm

Dikte

350±25 μm

Primaire platte oriëntatie

[1-100]±5°

Primaire platte lengte

47.5±1.5mm

Secundaire flat

Geen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Boog

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Kronkelen

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Voorste (si-face) ruwheid (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structuur

Micropipe dichtheid

<1 EA/CM2

<10 EA/CM2

<15 EA/CM2

Metaalonzuiverheden

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Voorste kwaliteit

Voorkant

Si

Oppervlakte -afwerking

Si-face CMP

Deeltjes

≤60ea/wafer (size≥0.3μm)

NA

Krassen

≤5ea/mm. Cumulative length ≤Diameter

Cumulative length≤2*Diameter

NA

Sinaasappelschil/putten/vlekken/strepen/scheuren/besmetting

Geen

NA

Edge -chips/inspringen/breuk/hexplaten

Geen

Polytype -gebieden

Geen

Cumulative area≤20%

Cumulative area≤30%

Laser markering vooraan

Geen

Rugkwaliteit

Back Finish

C-gezicht CMP

Krassen

≤5ea/mm,Cumulative length≤2*Diameter

NA

Achterafwijkingen (randchips/inspringen)

Geen

Terug ruwheid

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Lasergrondbekleding

1 mm (van bovenrand)

Rand

Rand

Schuif

Verpakking

Verpakking

Epi-ready met vacuümverpakkingen

Multi-wafer cassette verpakking

*OPMERKINGEN: "NA" betekent dat er geen aanvraagitems die niet worden genoemd, verwijzen naar semi-STD.

 

 

 

 

 

tech_1_2_size

 

 

 

 

 

 

Sic wafels

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nieuwbrief

Ik kijk uit naar uw contact met ons