silicon carbide Ceramic effector for the transfer of wafers in various semiconductor processes

The silicon carbide mechanical arm is formed by isostatic pressing process and sintered at high temperature. According to the requirements of the user’s design drawings, the outline size, thickness size and shape can be refined to meet the specific requirements of users.

12

 

 

 

 

 

 

Kenmerken en voordelen

1.Precise dimensions and thermal stability

2.High specific stiffness and excellent thermal uniformity, long-term use is not easy to bend deformation;

3. Het heeft een glad oppervlak en een goede slijtvastheid, dus veilig omgaan met de chip zonder deeltjesverontreiniging.

4.Silicon carbide resistivity in 106-108Ω, non-magnetic, in line with anti-ESD specification requirements; It can prevent the accumulation of static electricity on the surface of the chip

5. Goede thermische geleidbaarheid, lage expansiecoëfficiënt.

 

 

 

 

 

 

Robot Arm Effector

 

 

 

 

 

SiC End Effector

 

 

 

 

 

 

Comparison of SIC ceramic materials

 

 

 

 

 

 

ADFvZCVXCD

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nieuwbrief

Ik kijk uit naar uw contact met ons