The Tantalum Carbide Coated Susceptor Support Plate by Semicera is designed for use in silicon carbide epitaxy and crystal growth. It provides stable support in high-temperature, corrosive, or high-pressure environments, essential for these advanced processes. Commonly used in high-pressure reactors, furnace structures, and chemical equipment, it ensures system performance and stability. Semicera’s innovative coating technology guarantees superior quality and reliability for demanding engineering applications.
Tantalum carbide coated susceptor support plate is a susceptor or support structure that is covered with a thin layer of tantalum carbide. This coating can be formed on the susceptor surface by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD), giving the susceptor the superior properties of tantalum carbide.
Semicera biedt gespecialiseerde tantalum carbide (TAC) coatings voor verschillende componenten en dragers. Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
De belangrijkste kenmerken van tantalum carbide gecoate base supportplaten zijn inclusief:
1. Stabiliteit met hoge temperatuur: tantalumcarbide heeft een uitstekende stabiliteit van hoge temperatuur, waardoor de gecoate basisondersteuningsplaat geschikt is voor ondersteuningsbehoeften in werkomgevingen op hoge temperatuur.
2. Corrosieweerstand: Tantalum carbide -coating heeft een goede corrosieweerstand, kan weerstand bieden aan chemische corrosie en oxidatie en de levensduur van de basis verlengen.
3. Hoge hardheid en slijtvastheid: de hoge hardheid van tantalum carbide -coating geeft de basisondersteuningsplaat een goede slijtvastheid, wat geschikt is voor gelegenheden die een hoge slijtvastheid vereisen.
4. Chemische stabiliteit: Tantalum carbide heeft een hoge stabiliteit voor een verscheidenheid aan chemische stoffen, waardoor de gecoate basisondersteuningsplaat goed presteert in sommige corrosieve omgevingen.
Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:
